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四氟化碳是什么?有什么用?
四氟化碳又稱(chēng)四氟甲烷,被視為一種無(wú)機(jī)化合物。用于各種集成電路的等離子刻蝕工藝,也用作激光氣體及制冷劑。常溫常壓下比較穩(wěn)定,但是需要避免接觸強(qiáng)氧化劑、易燃或可燃物。四氟化碳是不燃?xì)怏w,如果遇到高熱后會(huì)造成容器內(nèi)壓增大,有開(kāi)裂、爆炸危險(xiǎn)。通常常溫下只會(huì)與液氨-金屬鈉試劑能發(fā)生作用。 四氟化碳是目前微電子工業(yè)中用量最大的等離子蝕刻氣體,可廣泛用于硅、二氧化硅,磷硅玻璃等薄膜材料的蝕刻,在電子器件表面清洗,太陽(yáng)能電池的生產(chǎn),激光技術(shù)、氣相絕緣、低溫制冷、泄露檢驗(yàn)劑、印刷電路生產(chǎn)中的去污劑等更多 +
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我國(guó)電子氣體發(fā)展的三大難點(diǎn)!
電子氣體是高科技產(chǎn)業(yè)重要的“源”資料,是集成電路制作過(guò)程中必不可少的要害支撐資料。據(jù)專(zhuān)業(yè)人士泄漏,中國(guó)半導(dǎo)體行業(yè)要實(shí)現(xiàn)從跟隨走向引領(lǐng)的跨越,電子氣體的打破一定會(huì)是最重要的一環(huán)。 半導(dǎo)體制作過(guò)程中刻蝕、清洗、外延生長(zhǎng)、離子注入、摻雜、氣相堆積、分散等要運(yùn)用大量的電子氣體,且電子氣體的純度對(duì)芯片質(zhì)量影響很大。跟著集成電路制程節(jié)點(diǎn)不斷縮?。ㄒ呀?jīng)走到10/7納米),對(duì)電子氣體的顆粒度和雜質(zhì)含量的要求也越來(lái)越高。因此,集成電路技能快速發(fā)展,對(duì)電子氣體的種類(lèi)、數(shù)量、質(zhì)量、安全性以及安穩(wěn)更多 +
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四氟化碳、三氟甲烷、六氟丁二烯電子行業(yè)中重要的蝕刻氣體
蝕刻是電子行業(yè)重要工藝,蝕刻所用氣體稱(chēng)蝕刻氣體, 通常多為氟化物氣體, 例如四氟化碳、全氟丁二烯、三氟化氮、六氟乙烷、全氟丙烷、三氟甲烷等。 作為新一代環(huán)保電子氣體,電子級(jí)C4F6成為集成電路IC芯片等制造時(shí)必不可少的刻蝕氣體,其GWP值簡(jiǎn)直為0,而且能完結(jié)納米級(jí)溝槽的加工,成為電子工業(yè)領(lǐng)域內(nèi)一把神奇的“刻刀”,比γ刀還γ! 2015年,浙化院特種氣體研發(fā)團(tuán)隊(duì)提出自主開(kāi)發(fā)新一代含氟電子氣體C4F6的提純技能。 今天紐小編就帶大家一起看看C4F6是怎樣更多 +
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半導(dǎo)體工業(yè)中的超高純特種氣體
超凈高純特種氣體為主要用于制備半導(dǎo)體器件、化合物半導(dǎo)體、激光器、光導(dǎo)纖維、太陽(yáng)能電池等的高純度氣體,一般純度在99.999%(5N)以上。其中55%的市場(chǎng)份額是背景氣體(如氧、氮、氬、氫、CO2等);其他45%為特種氣體。 超凈高純特種氣體包括純氣以及二元、多元混合氣。純氣己發(fā)展至100余種:混合氣己有17類(lèi)、330多個(gè)品種,大約1000多種規(guī)格。超凈高純特種氣體配套性很強(qiáng),根據(jù)不同用途分別有電子級(jí)、載氣級(jí)、發(fā)光二極管級(jí)、光導(dǎo)纖維級(jí)、VLSI級(jí)(超大規(guī)模集成電路級(jí))等。最近為適應(yīng)兆位集成電路的生產(chǎn)更多 +
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半導(dǎo)體行業(yè)發(fā)展迅猛,電子氣體迎來(lái)新機(jī)遇!
紐瑞德小編了解到,在9月13日召開(kāi)的2018年中國(guó)集成電路產(chǎn)業(yè)發(fā)展研討會(huì)上,中國(guó)半導(dǎo)體行業(yè)協(xié)會(huì)副理事長(zhǎng)于燮康介紹,上半年,中國(guó)集成電路產(chǎn)業(yè)實(shí)現(xiàn)收入2726.5億元,同比增長(zhǎng)23.9%。其中,集成電路制造領(lǐng)域收入737.4億元,同比增長(zhǎng)29.1%。 中科院微電子研究所所長(zhǎng)表示,集成電路制造既可以帶動(dòng)國(guó)產(chǎn)裝備和材料發(fā)展,又可以服務(wù)于集成電路設(shè)計(jì)企業(yè),是集成電路產(chǎn)業(yè)的中樞環(huán)節(jié)。國(guó)內(nèi)集成電路制造工藝已取得長(zhǎng)足進(jìn)步,65納米、40納米、28納米工藝相繼量產(chǎn),14納米技術(shù)研發(fā)取得突破,特色工藝競(jìng)爭(zhēng)力提高。&l更多 +
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電子氣體將迎來(lái)新機(jī)遇
2015年8月至今“中興事件”愈演愈烈,本月起美國(guó)令所有美企禁止向中興出口零部件。這一事件在輿論場(chǎng)上引發(fā)深入討論,出口禁運(yùn)觸碰到了中國(guó)通信產(chǎn)業(yè)缺乏核心技術(shù)的痛點(diǎn)。“缺芯少魂”的問(wèn)題,再次嚴(yán)峻地?cái)[在人們面前。 本次中興通訊的禁運(yùn)事件,對(duì)于通信產(chǎn)業(yè)沖擊較大,也敲響了半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)的警鐘,自主可控不僅僅是口號(hào),而是涉及到國(guó)家安全,國(guó)計(jì)民生的要?jiǎng)?wù)。我們更要支持本土芯片設(shè)計(jì)公司。而電子氣體作為極大規(guī)模集成電路、平面顯示器件、化合物半導(dǎo)體器件、太陽(yáng)能電池、光纖等電子工業(yè)生產(chǎn)中不可缺更多 +
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氮原子大小的量子傳感器獲得研制成功
量子技術(shù)為計(jì)算機(jī)小型化開(kāi)辟了新途徑。德國(guó)弗勞恩霍夫研究人員近日開(kāi)發(fā)出了一種微磁場(chǎng)下應(yīng)用的量子傳感器,可應(yīng)用于未來(lái)計(jì)算機(jī)硬盤(pán)識(shí)別。更多信息請(qǐng)點(diǎn)擊:,或者撥打我們的熱線電話:400-6277-838 集成電路變得越來(lái)越復(fù)雜。最新的奔騰處理器現(xiàn)在可容納約3000萬(wàn)個(gè)晶體管。硬盤(pán)驅(qū)動(dòng)器中的磁性結(jié)構(gòu),可識(shí)別的范圍僅為10至20納米,比直徑80至120納米的流感病毒還小。弗勞恩霍夫應(yīng)用固體物理研究所(IAF)研究人員與馬普固體研究所同事一起開(kāi)發(fā)的這種量子傳感器,可應(yīng)用于微小磁場(chǎng)下更多 +
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最新電子級(jí)特種氣體生產(chǎn)項(xiàng)目落戶(hù)重慶市
近日,中歐電子氣體及材料公司電子級(jí)特種氣體生產(chǎn)項(xiàng)目簽約落戶(hù)重慶市長(zhǎng)壽經(jīng)開(kāi)區(qū)。 該項(xiàng)目由邦盟(日本)資本有限公司投資4.6億元,分兩期建設(shè)年產(chǎn)5735噸電子級(jí)特種氣體生產(chǎn)基地,計(jì)劃今年11月開(kāi)工,2018年3月一期建成投產(chǎn),整個(gè)項(xiàng)目達(dá)產(chǎn)后將實(shí)現(xiàn)年產(chǎn)值約10億元。該項(xiàng)目為重慶市首個(gè)電子級(jí)特種氣體生產(chǎn)項(xiàng)目,主要生產(chǎn)六氟化鎢、三氟化氮等27種(類(lèi))電子級(jí)特種氣體,部分產(chǎn)品填補(bǔ)國(guó)內(nèi)空白,可滿足集成電路、液晶面板生產(chǎn)工藝對(duì)高純特種氣體的需求。未來(lái),還將在渝建設(shè)電子級(jí)特種氣體研發(fā)中心及設(shè)備生產(chǎn)基地。該項(xiàng)目的落戶(hù)更多 +
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中國(guó)對(duì)99.999%高純氙氣需求不斷增加
近年來(lái),隨著我國(guó)集成電路、液晶顯示器、太陽(yáng)能電池、半導(dǎo)體、光纖光纜等行業(yè)的高速發(fā)展, 稀有氣體行業(yè)進(jìn)入快速發(fā)展期,龐大的市場(chǎng)需求為99.999%高純氙氣、高純氖氣等稀有氣體帶來(lái)廣闊的發(fā)展空間,未來(lái)我國(guó)對(duì)純度在99.999%高純氙氣、氖氣繼續(xù)保持快速增長(zhǎng)趨勢(shì)。 根據(jù)中國(guó)氣體工業(yè)協(xié)會(huì)不完全統(tǒng)計(jì),早在2004年,我國(guó)氦氣、氖氣、氙氣、氪氣、六氟化硫、笑氣、氯化氫、氨氣等氣體以及以高純氣體為母體的特種氣體銷(xiāo)售額更多 +
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進(jìn)口高純氙氣市場(chǎng)規(guī)模
近年來(lái),我國(guó)高新技術(shù)持續(xù)快速發(fā)展,計(jì)算機(jī)工業(yè)對(duì)大規(guī)模集成電路及液晶顯示器的需求大量增加。近年來(lái),我國(guó)大力發(fā)展新型能源,市場(chǎng)對(duì)多晶硅太陽(yáng)能電池和薄膜太陽(yáng)能電池的需求量也與日俱增。此外,新型電光源、光電半導(dǎo)體器件、光纖通訊器件也獲得迅猛發(fā)展,在上述高新產(chǎn)品的生產(chǎn)中,都需要大量氙氣 氦氣、氪氣、氖氣、氙氣、氨氣、四氟化碳、硅烷、八氟環(huán)丁烷、六氟化硫等特種氣體,以制造出性能可靠的各種器件。 隨著我國(guó)制造業(yè)的發(fā)展,未來(lái)我國(guó)工業(yè)對(duì)進(jìn)口高純氙氣需求仍將快速增長(zhǎng),我國(guó)特種氣體行業(yè)的市場(chǎng)規(guī)模有望保持20更多 +
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