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六氟化硫:新一代光刻膠刻蝕劑
六氟化硫是一種高效的光刻膠刻蝕劑,廣泛用于微電子、光電子等領(lǐng)域。其在大氣壓下具有較強(qiáng)的化學(xué)惰性和氧化力,通過(guò)與光刻膠中的聚合物鏈發(fā)生氟化反應(yīng)實(shí)現(xiàn)蝕刻。在使用六氟化硫時(shí),需注意操作安全,避免與水蒸氣接觸,以確保生產(chǎn)過(guò)程安全和高效。更多 +
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氦氬混合氣:工業(yè)與科研領(lǐng)域的“黃金搭檔”
氦氬混合氣作為一種重要的氣體混合物,在焊接、半導(dǎo)體制造和科研領(lǐng)域發(fā)揮著重要作用。它提高了焊接速度和質(zhì)量,在半導(dǎo)體制造過(guò)程中具有精確控制刻蝕速率的能力,同時(shí)在科研領(lǐng)域能夠?qū)崿F(xiàn)超低溫環(huán)境和提高光譜分析的準(zhǔn)確性。氦氬混合氣將持續(xù)為工業(yè)和科研帶來(lái)便利和創(chuàng)新。更多 +
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四氟化碳CF4在電子工業(yè)中的廣泛應(yīng)用
四氟化碳CF4是電子工業(yè)中常見(jiàn)的原料氣體,具有廣泛的應(yīng)用和強(qiáng)大的化學(xué)穩(wěn)定性。它可以用于等離子刻蝕、電子器件清洗、太陽(yáng)能電池生產(chǎn)等多個(gè)領(lǐng)域。此外,CF4還可以用于金屬冶煉和塑料工業(yè),并且具有良好的溶解氧,被應(yīng)用于超深度潛水實(shí)驗(yàn)。儲(chǔ)存和使用CF4要注意合適的包裝和安全措施。更多 +
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四氟化碳,滿足半導(dǎo)體的“潔癖”
四氟化碳是半導(dǎo)體行業(yè)中不可或缺的清潔劑,具有高純度、無(wú)殘留、易揮發(fā)等特點(diǎn)。它在半導(dǎo)體微制造過(guò)程中可用于清洗、刻蝕和去污,為高純度半導(dǎo)體的生產(chǎn)提供了保障。四氟化碳在半導(dǎo)體行業(yè)具有重要作用,成為半導(dǎo)體的“潔癖”滿足者。更多 +
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電子特氣:電子工業(yè)的“血液”
電子特氣作為電子工業(yè)的“血液”,在半導(dǎo)體制造中發(fā)揮著重要的作用。它主要分為電子大宗氣體和電子特種氣體兩類(lèi),其中特種氣體在半導(dǎo)體制造過(guò)程中起到關(guān)鍵的支撐作用。目前,電子特氣市場(chǎng)規(guī)模龐大且呈快速增長(zhǎng)趨勢(shì)。清洗、成膜、光刻、刻蝕、摻雜是半導(dǎo)體制造中常見(jiàn)的使用電子特氣的關(guān)鍵步驟。更多 +
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我的中國(guó)“芯”——哪些電子特氣參與芯片制造
在芯片制造過(guò)程中,電子特氣扮演著重要角色。包括光刻、刻蝕、離子注入等步驟,都需要使用各種類(lèi)型的電子特氣。硅片刻蝕氣體主要指氟基氣體,摻雜工藝所用的氣體稱為摻雜氣體,如砷烷、磷烷等。更多 +
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芯片的生長(zhǎng)素 — 電子特氣
電子特種氣體(簡(jiǎn)稱:電子特氣)是特種氣體的一個(gè)重要分支,是集成電路(IC)、顯示面板(LCD、OLED)、光伏能源、光纖光纜等電子工業(yè)生產(chǎn)中不可或缺的關(guān)鍵性原材料,在電子產(chǎn)業(yè)中的作用相當(dāng)于“生長(zhǎng)激素”。廣泛應(yīng)用于薄膜、光刻、刻蝕、摻雜、氣相沉積、擴(kuò)散等工藝,其質(zhì)量對(duì)電子元器件的性能有重要影響。更多 +
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特種氣體在蝕刻中的應(yīng)用
刻蝕分為濕法蝕刻和干法蝕刻。???硅片的蝕刻氣體(特種氣體)主要是氟基氣體,包括四氟化碳、四氟化碳/氧氣、六氟化硫、六氟乙烷/氧氣、三氟化氮等。???蝕刻氣體氣體工業(yè)名詞,蝕刻就是把基片上無(wú)光刻膠掩蔽的加工表…更多 +
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四氟化碳是什么?有什么用?
四氟化碳又稱四氟甲烷,被視為一種無(wú)機(jī)化合物。用于各種集成電路的等離子刻蝕工藝,也用作激光氣 體及制冷劑。常溫常壓下比較穩(wěn)定,但是需要避免接觸強(qiáng)氧化劑、易燃或可燃物。四氟化碳是不燃?xì)怏w, 如果遇到高熱后會(huì)造成容器內(nèi)壓增大,有開(kāi)裂、爆炸危險(xiǎn)。通常常溫下只會(huì)與液氨-金屬鈉試劑能發(fā)生作 用。更多 +
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