電子氣體作用的解密
文章出處：責任編輯：人氣：-發(fā)表時間：2023-06-01 10:47:49【大
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電子氣體作用的解密
什么是電子氣體？
特種電子氣體是電子氣體的一個重要分支，是集成電路、顯示面板等電子工業(yè)生產(chǎn)中不可或缺的原材料。電子特種氣體種類繁多，廣泛應(yīng)用于離子注入、刻蝕、氣相沉積、摻雜等工藝，被譽為集成電路、液晶面板、LED、太陽能電池等材料的“食物”和“源頭”，決定著器件的最終成品率和可靠性。電子特種氣體廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體、微電子及相關(guān)太陽能電池等高科技行業(yè)，也可用于薄膜沉積、蝕刻、摻雜、鈍化、清潔或作為載體、保護氣氛等。由于半導(dǎo)體和微電子技術(shù)朝著更高性能和集成化的方向發(fā)展，電子氣體的純度變得越來越重要。電子特種氣體的上游主要是III（硼、鋁、鎵）、IV（碳、硅、鍺）、V（氮、磷、砷）族元素和鹵素族元素（氟、氯）的基礎(chǔ)化工。下游在集成電路、面板、LED等領(lǐng)域的不同工藝連接中有不同的應(yīng)用。電子氣體是生產(chǎn)集成電路、顯示面板等電子行業(yè)不可或缺的原材料。2021年，電子氣體在集成電路中的使用占43%，其次是顯示面板，占21%，LED和光伏系統(tǒng)分別占13%和6%。主要應(yīng)用環(huán)節(jié)包括離子注入、刻蝕、氣相沉積、摻雜等。
什么是常見的特殊電子氣體？
高純度C4F6、SiHCl3、HF、HCl、HBr、F2、SiH4、PH3、AsH3、B2H6、C4F8、N2O、NH3、SF6、NF3、COS、CF4、BCl3、BF3、Cl2、Si2H6等。為了確保半導(dǎo)體器件的質(zhì)量和產(chǎn)量，特種氣體產(chǎn)品必須同時滿足“超清潔”和“超清潔“的要求。“超凈”要求氣體純度達到4.5N、5N，甚至6N、7N，作為特種氣體的核心參數(shù)，隨著純度的每增加一個N，顆粒和金屬雜質(zhì)濃度的每降低一個數(shù)量級，都會導(dǎo)致工藝復(fù)雜性和難度的顯著增加。（N是Ni的縮寫，一對N代表幾個9，例如3N的純度為99.9%），“超清潔”需要嚴格控制顆粒和金屬雜質(zhì)的含量。
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