電子特氣：電子工業(yè)的血液

特種氣體主要包括高純氣體、電子氣體和標(biāo)準(zhǔn)氣體。電子特種氣體（以下簡稱電子特種氣體）是

特種氣體的重要分支，是超大型集成電路（IC）、平面顯示器件（LCD、LED、OLED）、電子

工業(yè)生產(chǎn)中不可缺少的原材料，如太陽能電池。

通常在半導(dǎo)體生產(chǎn)行業(yè)，氣體分為常用氣體和特殊氣體。其中，常用氣體是指集中供應(yīng)和使用大

量氣體，如 N2、H2、O2、Ar、He 等。特種氣體是指在半導(dǎo)體生產(chǎn)過程中使用的一些化學(xué)氣體，

如延伸、離子注射、摻合、洗滌、掩膜形成，即氣體類別中的電子氣體，如高純度 SiH4、PH3、AsH3、B2H6、 N2O、NH3、SF6、NF3、CF4、BCl3、BF3、HCl、Cl2等，在 IC 在生產(chǎn)過程中，

使用的電子氣體幾乎相同 100 核心工段種類繁多，核心工段常見 30 種左右。正是這些氣體通過不

同的工藝使硅片具有半導(dǎo)體性能，決定了集成電路的性能、集成度、成品率，即使特定雜質(zhì)超標(biāo)，

也會導(dǎo)致嚴重的質(zhì)量缺陷，嚴重的不合格氣體擴散，導(dǎo)致整個生產(chǎn)線污染，甚至完全癱瘓。因此，

電子氣體是制造過程的基本關(guān)鍵材料，是電子工業(yè)的“血液”。

武漢紐瑞德特種氣體有限公司順應(yīng)市場發(fā)展需要，致力于向市場提供高質(zhì)量的特種氣體、稀有氣體、

高純氣體、有機氣體、專業(yè)為各行業(yè)定制混合氣體和標(biāo)準(zhǔn)氣體，主營產(chǎn)品就是電子氣體，如六氟化

硫、四氟化碳、高純氨氣、笑氣、四氯化硅、六氟乙烷、三氟化氮、氯氣、氯化氫氣體、三氟甲烷、

硅烷等，具有很強的競爭實力。歡迎廣大用戶了解紐瑞德，選擇紐瑞德，實現(xiàn)“合作共贏”。您和紐

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