電子特氣的“特”，就特在純凈度要求非常高，純度指的是主成分的含量越高越好

，潔凈度指的是雜質(zhì)的殘留量越低越好。對于90納米制程純度要求在5到6個(gè)N，

這里N指的是純度百分比中9的個(gè)數(shù)。同時(shí)雜質(zhì)要求小于10的負(fù)9次方，也就是十

億分之一。28納米甚至7納米、5納米制程對電子特氣的純度要求就更高了，金屬

元素要凈化到萬億分之一，相當(dāng)于20個(gè)標(biāo)準(zhǔn)游泳池的水里雜質(zhì)的量不能超過一滴

水的量。為什么要如此苛刻的純度呢？這是因?yàn)闃O微量的雜質(zhì)都有可能導(dǎo)致產(chǎn)品

出現(xiàn)重大缺陷，比如水分、氧氣等雜質(zhì)會導(dǎo)致氧化金屬和顆粒物，會導(dǎo)致短路以

及線路的損壞。從28納米到7納米，產(chǎn)品的金屬雜質(zhì)必須下降100倍，污染粒子的

體積必須縮小到4倍以下。隨著工藝制程發(fā)展到10納米以下，生產(chǎn)過程對于雜質(zhì)過

濾、潔凈度的要求也會越來越嚴(yán)格。

這么苛刻的要求導(dǎo)致電子特氣生產(chǎn)技術(shù)的門檻非常高，需要長期的積累和研發(fā)投入

。同時(shí)生產(chǎn)過程要用到大量精密儀器設(shè)備，這是第一道難關(guān)。第二道難關(guān)是資質(zhì)壁

壘，電子特氣品質(zhì)對電氣產(chǎn)品性能影響大，一旦質(zhì)量出現(xiàn)問題下游客戶將損失巨大。

為保持氣體供應(yīng)的穩(wěn)定，客戶在與氣體供應(yīng)商建立合作關(guān)系以后，不會輕易地更換

氣體供應(yīng)商，如果想進(jìn)入就必須經(jīng)過嚴(yán)格的審查和認(rèn)證，這個(gè)周期一般要長達(dá)2到3

年。由于發(fā)達(dá)國家電子信息產(chǎn)業(yè)的起步早，在技術(shù)、資金、人才等方面有先發(fā)優(yōu)勢，

我國不得不長期依賴進(jìn)口，85%以上的市場份額被美、法、德、日等國的企業(yè)所壟

斷，特別是超高純特氣更是幾乎全部依賴進(jìn)口，賣不賣、賣多少全憑他們說了算。

所以，我國必須盡快開發(fā)出關(guān)鍵電子特氣的國產(chǎn)化技術(shù)化解“卡脖子”的風(fēng)險(xiǎn)，把國

民經(jīng)濟(jì)的安全命脈牢牢地掌握在自己手中。從技術(shù)層面而言，我國電子氣體行業(yè)需

要在以下幾個(gè)方面加以突破：一是凈化材料，氣體終端凈化器的核心材料，如凈化

用的催化劑、吸附劑和膜材料等；二是新產(chǎn)品、新技術(shù)，電子特氣更新?lián)Q代快，新

產(chǎn)品的研發(fā)、混配技術(shù)跟不上國外的研發(fā)速度，國內(nèi)的三氟化氮和六氟化硫等電子

特氣產(chǎn)品，目前國際上已逐漸淘汰；三是設(shè)備方面，與高純氣體接觸的器材必須滿

足潔凈的標(biāo)準(zhǔn)，否則釋放出來的微量雜質(zhì)就會污染電子氣體，生產(chǎn)用的容器、管道

閥門等目前還需要大量進(jìn)口，亟需我們盡快研發(fā)；四是檢測技術(shù)方面，分析檢測是

品質(zhì)保證的關(guān)鍵，部分純度指標(biāo)檢測技術(shù)有一定的基礎(chǔ)，但是在超痕量雜質(zhì)高精度

分析檢測技術(shù)以及一些專用的儀器方面與國外差距巨大。近年來，我國一些企業(yè)經(jīng)

過多年的自主研發(fā)，部分電子特氣產(chǎn)品已經(jīng)實(shí)現(xiàn)量產(chǎn)，并且通過了國際龍頭企業(yè)的

認(rèn)證，今后將會有更多的產(chǎn)品陸續(xù)進(jìn)入全球半導(dǎo)體的供應(yīng)鏈體系。