電子特氣：半導體制造過程中的關鍵角色

電子特氣（Specialty Gases）它是電子工業(yè)中使用的一種特殊氣體，在半導體、集成電路、顯

示面板、光伏等領域的生產過程中發(fā)揮著關鍵作用。電子特殊氣體的分類方法多種多樣，主要

有以下幾種：

按純度和應用領域進行分類。電子特性可分為高純度氣體和超大型集成電路（ULSI）這些氣體

用于半導體制造中的摻雜、蝕刻、氣相沉積等工藝過程。
根據(jù)功能進行分類。電子特氣可分為稀釋氣體、化學氣相沉積（CVD）氣體、蝕刻氣體、摻雜

氣體、外延氣體、離子注入氣體等。
根據(jù)應用程序進行分類。電子特殊氣體可分為平板顯示氣體、半導體氣體、光伏氣體和發(fā)光二

極管（LED）在半導體制造中，這些氣體用于環(huán)境氣、保護氣、載氣等。
按組分分類。電子特氣可分為氮氧化物、氫化物、氟碳、碳氧化物、氨化物、混合物等。
在實際應用中，電子特氣的種類非常豐富，包括氨、氦、氧化亞氮、TEOS(正硅酸乙酯)、TEB

(硼酸三乙酯)、TEPO(磷酸三乙酯)、磷化氫、三氟化氯、二氯硅烷、氟化氮、硅烷、六氟化鎢、

六氟乙烷、四氯化鈦、甲烷等。這些氣體在半導體制造中發(fā)揮著重要作用，影響著產品的性能

和質量。
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