四氟化碳,這種能使火星升溫的氣體有什么用途?
四氟化碳,又稱四氟甲烷,是一種會(huì)引起溫室效應(yīng)的氣體。它非常穩(wěn)定,可以長(zhǎng)時(shí)間停留
在大氣中,是一種非常強(qiáng)大的溫室氣體??茖W(xué)家建議,如果每小時(shí)在火星上排放1000噸四
氟化碳,火星的平均溫度將在30年內(nèi)升高27.8℃。
當(dāng)然,四氟化碳的作用不僅僅是加熱!它也是微電子工業(yè)中最大的等離子蝕刻氣體,廣泛
應(yīng)用于硅、二氧化硅、氮化硅、磷硅玻璃等材料的蝕刻,廣泛應(yīng)用于電子設(shè)備表面清洗、
太陽(yáng)能電池生產(chǎn)、激光技術(shù)、低溫制冷、氣體絕緣、泄漏檢測(cè)劑、控制宇宙火箭姿態(tài)、印
刷電路生產(chǎn)中的去污劑、潤(rùn)滑劑和制動(dòng)液。
四氟化碳主要用于各種集成電路的等離子刻蝕過(guò)程,也用作激光氣體、低溫制冷劑、溶劑、
潤(rùn)滑劑、絕緣材料和紅外檢測(cè)管的冷卻劑。
目前,超大型集成電路中使用的電子氣體的特點(diǎn)和發(fā)展趨勢(shì)是超純、超凈、多品種、多規(guī)
模。為了促進(jìn)我國(guó)微電子產(chǎn)業(yè)的發(fā)展,各國(guó)越來(lái)越重視特種電子氣體生產(chǎn)技術(shù)的發(fā)展。目
前,四氟化碳長(zhǎng)期占據(jù)蝕刻氣體市場(chǎng),價(jià)格相對(duì)較低,具有廣闊的發(fā)展?jié)摿Α?/span>
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