六氟化硫：半導體制造的純凈動力  

在半導體芯片制造中，電子氣體的純度與穩(wěn)定性直接決定晶圓良率和器件性能。

湖北紐瑞德電子氣體有限公司憑借5N級（99.999%）超高純度六氟化硫及全鏈條技術優(yōu)勢，引領國

產(chǎn)電子氣體技術突破。

一、產(chǎn)品核心優(yōu)勢：純度與穩(wěn)定性的雙重保障
超高純度工藝

采用國際領先的純化技術，六氟化硫純度覆蓋 4N（99.99%）至5N（99.999%），關鍵雜質(zhì)

（水分≤0.1ppm、酸度≤0.1ppm）達到國際先進水平，滿足7nm以下先進制程對蝕刻氣體的嚴苛要求。

全流程質(zhì)控體系

執(zhí)行ISO 9001質(zhì)量管理體系，從原料進口（附原廠檢測報告）到生產(chǎn)灌裝，全程通過高精度色譜儀

監(jiān)控氣體成分，確保批次一致性。

二、半導體應用場景：精準匹配先進制程需求
等離子蝕刻  

   5N級六氟化硫作為高效蝕刻劑，在硅晶圓上實現(xiàn)微米級電路圖案的精準雕刻，避免雜質(zhì)導致的側(cè)

壁粗糙或器件短路。設備清洗與成膜

其化學穩(wěn)定性可清除沉積設備腔體內(nèi)的殘留物，同時作為隔離層摻雜劑提升單模光纖的光學性能，

保障光刻工藝穩(wěn)定性。

安全環(huán)保特性
不可燃、無腐蝕性的本質(zhì)安全特性，降低晶圓廠存儲與使用風險，符合半導體潔凈室標準。
三、企業(yè)綜合實力：技術背書與產(chǎn)業(yè)賦能
開發(fā)低雜質(zhì)純化工藝，推動國產(chǎn)替代進程。
權威認證與客戶覆蓋
通過ISO 14001環(huán)境管理體系認證，出口全球20余國。
定制化服務能力

提供工藝適配氣體方案，24小時應急響應機制保障產(chǎn)線不間斷運行，配套技術培訓優(yōu)化客戶用氣

效率。

四、未來布局：綠色制造與智能化升級

響應“雙碳”目標，湖北紐瑞德投資3億元建設智能化工廠，推動六氟化硫回收循環(huán)技術，降低半導體

產(chǎn)業(yè)碳足跡；同步拓展海外市場，加速國產(chǎn)高純氣體全球化布局。

湖北紐瑞德以“高純、安全、高效”為核心，通過技術迭代與服務升級，持續(xù)為半導體產(chǎn)業(yè)提供可靠的

氣體解決方案，成為中國電子氣體自主化進程的關鍵推動者。未來，其創(chuàng)新驅(qū)動的戰(zhàn)略將進一步鞏固

在高端制造供應鏈中的不可替代性。

武漢紐瑞德特種氣體有限公司是一家專業(yè)生產(chǎn)和銷售高純氦、氫、氮的公司。各種純度和規(guī)格齊全。

請撥打400-6277-838咨詢。