COF2;有機(jī)合成中間體,氟化劑。
CHF3;蝕刻,冷凍劑,有機(jī)合成。
CH2F2;致冷劑。
CH3F;噴霧劑,C-F鍵的研究。
WF6;氟化劑,鎢載體,化學(xué)氣相沉積。
SF6;電子設(shè)備,雷達(dá)波導(dǎo),粒子加速器,變壓器,避雷器的氣 絕緣體,制冷劑,示蹤裝置,醫(yī)療,半導(dǎo)體制造中的蝕刻、化學(xué)氣相沉積,標(biāo)準(zhǔn)氣,檢漏氣體,色譜儀的載氣。
NF3;火箭推進(jìn)劑,氟化劑,電子氣,等離子干刻,摻雜,激光,光導(dǎo)纖維 。
SiF4;有機(jī)硅化合物的合成材料,水泥和人造大理石的硬化劑,氟硅酸及氟化硅的制造,硅的外延生長,等離子蝕刻,太陽能電池,復(fù)印機(jī)感光筒,非晶硅膜生長,化學(xué)氣相沉積。
C3F8;高壓絕緣,制冷劑,等離子干刻。
C2F6;等離子干刻,冷卻,制冷和空調(diào),化學(xué)反應(yīng)中的添氟劑,電氣設(shè)備的絕緣劑。
CF4;制冷,氣體絕緣,干蝕刻氣,氟化劑,表面處理劑,激光氣體泄漏檢驗(yàn)劑。
BF3;有機(jī)合成催化劑,火箭的高能燃料,核技術(shù),半導(dǎo)體制造用摻雜氣,離子注入氣,光導(dǎo)纖維制造,煙熏劑。
HF;制備氟里昂氣及其他氟化物,乙醇、乙醛、乙醚(液休HF)的溶劑,聚合、烴化反應(yīng)的催化劑,玻璃雕刻,殺菌劑,清洗金屬,清洗鑄件,電鍍,濾紙的處理,礦石類的分析,鍺、硅的蝕刻劑。
F2;火箭燃料的氧化劑,分離鈾同位素,金屬的焊接和切割,電鍍,玻璃加工,鹵化氟的原料,氟化物,含氟塑料,氟橡膠的制造,藥物,農(nóng)藥,殺蟲劑,冷凍劑,等離子蝕刻。