工業(yè)上六氟化硫通常是由電解產(chǎn)生的氟在中高溫下與硫反應(yīng)來制備的, 除六氟化硫外, 還生成少量的四氟化硫( SF4 ) 等副產(chǎn)物。氟硫直接合成六氟化硫的方法可以分為氟氣與固體硫磺、與熔融硫磺、與硫磺蒸氣三種方式: 氟氣與固體硫磺反應(yīng),由于氟硫反應(yīng)是很激烈的放熱反應(yīng), 其反應(yīng)溫度不易控制, 導(dǎo)致副產(chǎn)物增加而加重后處理負(fù)擔(dān)。 另外對密封的反應(yīng)器來說, 向其內(nèi)連續(xù)地加入固體硫磺也很困難, 故該方法不適用于工業(yè)化生產(chǎn)。氟氣與硫磺蒸氣反應(yīng), 是將硫磺加熱到445 ℃ (沸點(diǎn))以上, 使硫變成蒸氣送入反應(yīng)器與氟反應(yīng), 同樣也存在著反應(yīng)溫度很難控制的缺陷, 其反應(yīng)溫度可達(dá)600 ℃以上, 必須采用特殊的反應(yīng)器材質(zhì), 這種方法也不適用于工業(yè)化生產(chǎn)。氟氣與熔融硫磺反應(yīng), 是將反應(yīng)器中的硫磺保持在85～105 ℃的熔融狀態(tài)下與通入的氟氣反應(yīng)的。此法反應(yīng)溫度較易控。