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半導(dǎo)體工業(yè)中的超高純特種氣體
超凈高純特種氣體為主要用于制備半導(dǎo)體器件、化合物半導(dǎo)體、激光器、光導(dǎo)纖維、太陽(yáng)能電池等的高純度氣體,一般純度在99.999%(5N)以上。其中55%的市場(chǎng)份額是背景氣體(如氧、氮、氬、氫、CO2等);其他45%為特種氣體。 超凈高純特種氣體包括純氣以及二元、多元混合氣。純氣己發(fā)展至100余種:混合氣己有17類、330多個(gè)品種,大約1000多種規(guī)格。超凈高純特種氣體配套性很強(qiáng),根據(jù)不同用途分別有電子級(jí)、載氣級(jí)、發(fā)光二極管級(jí)、光導(dǎo)纖維級(jí)、VLSI級(jí)(超大規(guī)模集成電路級(jí))等。最近為適應(yīng)兆位集成電路的生產(chǎn)更多 +
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如何計(jì)算多組分標(biāo)準(zhǔn)氣體的爆炸極限?
對(duì)于簡(jiǎn)單的氣體爆炸極限,我們很容易從各種手冊(cè)中查到,如air-H2,O2-H2等,但在實(shí)際中很多標(biāo)準(zhǔn)氣體屬于多元組成,在各類書中難以查到,這樣無(wú)法判定該瓶標(biāo)準(zhǔn)氣體是否是爆炸性氣體。若盲目操作無(wú)疑潛藏巨大的安全隱患。對(duì)于爆炸性混合氣體,若用戶確實(shí)需要,只要科學(xué)合理地進(jìn)行計(jì)算和認(rèn)真操作,盡管屬于爆炸性標(biāo)準(zhǔn)氣體,也能準(zhǔn)確、安全配制。如:Ar60%-CH4 10%-CO 10%-H2 10%-O2 10%配制壓力若為10.0MPa,體積為8L的鋁合金氣瓶,若因某種原因發(fā)生了瞬間爆炸,其威力相當(dāng)于0.411k更多 +
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溫室氣體“二氧化碳”竟能發(fā)電?
作為溫室氣體的主要成分,二氧化碳的排放問(wèn)題一直是各方關(guān)注的焦點(diǎn)。紐瑞德了解到,一家美國(guó)公司嘗試將“麻煩”轉(zhuǎn)變?yōu)橘Y源。 位于美國(guó)休斯頓,一座裝機(jī)容量為50MW的并網(wǎng)天然氣發(fā)電站上測(cè)試一項(xiàng)新型發(fā)電技術(shù)。這項(xiàng)新技術(shù)所使用的燃料中包含95%的超臨界CO2。按照NET Power計(jì)劃,如示范電站取得成功,將在2021年前完成該技術(shù)的商業(yè)化應(yīng)用。 將CO2變?yōu)槿剂系年P(guān)鍵在于通過(guò)一定的溫度和壓力使CO2達(dá)到超臨界流體狀態(tài)。研究人員表示,在31.1 °更多 +
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六氟化硫做絕緣有什么缺點(diǎn)?
1、SF6雖然無(wú)毒,但密度大,不易稀釋和擴(kuò)散,是一種窒息性物質(zhì),在故障泄漏時(shí)容易造成工作人員缺氧,中毒窒息。 2、SF6氣體在電場(chǎng)中產(chǎn)生電暈放電時(shí)會(huì)分解出來(lái)SOF2(氟化亞硫酰)、SO2F2(氟化硫酰)、S2F10(十氟化二硫)、SO2(二氧硫)、S2F2(氟化硫)、HF(氫氟酸)等近十種氣體。這些氟、硫化物氣體都有毒性,而且S2F10還具有劇毒性和腐蝕性。如對(duì)鋁合金、瓷絕緣子、玻璃環(huán)氧樹(shù)脂等絕緣材料,能損壞它們的結(jié)構(gòu);對(duì)人體及呼吸系統(tǒng)有強(qiáng)列的刺激和更多 +
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多組分標(biāo)準(zhǔn)氣體的爆炸極限應(yīng)該如何計(jì)算
對(duì)于簡(jiǎn)單的氣體爆炸極限,我們很容易從各種手冊(cè)中查到,如air-H2,O2-H2等,但在實(shí)際中很多標(biāo)準(zhǔn)氣體屬于多元組成,在各類書中難以查到,這樣無(wú)法判定該瓶標(biāo)準(zhǔn)氣體是否是爆炸性氣體。若盲目操作無(wú)疑潛藏巨大的安全隱患。對(duì)于爆炸性混合氣體,若用戶確實(shí)需要,只要科學(xué)合理地進(jìn)行計(jì)算和認(rèn)真操作,盡管屬于爆炸性標(biāo)準(zhǔn)氣體,也能準(zhǔn)確、安全配制。如:Ar60%-CH4 10%-CO 10%-H2 10%-O2 10%配制壓力若為10.0MPa,體積為8L的鋁合金氣瓶,若因某種原因發(fā)生了瞬間爆炸,其威力相更多 +
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氣相色譜法測(cè)定高純四氟化碳中三氟化氮雜質(zhì)的方法
四氟化碳這種含氟有機(jī)化合物作為蝕刻二氧化硅和氧化硅這樣的介質(zhì)材料已成熟運(yùn)用多年,也是目前微電子工業(yè)中用量最大的等離子蝕刻氣體。其混合氣體即四氟化碳和氧氣的混合、與氫的混合均在硅系列、薄膜蝕刻領(lǐng)域廣泛應(yīng)用。同時(shí)在低溫下可作為低溫流體用,也在制冷、體絕緣、氟化劑、表面處理劑和激光氣體泄露檢驗(yàn)劑有一定的應(yīng)用空間。四氟化碳的廣泛應(yīng)用,其產(chǎn)品質(zhì)量要求也相應(yīng)的較為明確、規(guī)范。目前行業(yè)內(nèi)較為成熟的分析方法主要檢測(cè)四氟化碳中的氧(O2)、氮(N2)、一氧化碳(CO)、二氧化碳(CO2)、六氟化硫(SF6)、水(H2O)更多 +
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氣體凈化與干燥
凈化氣體是進(jìn)行許多過(guò)程的工作前提條件。 (1)若采用加熱除雜,則一般是干燥在前。如N2中混有O2、CO2、H2O(g),可先將混合氣體通過(guò)堿石灰,除去CO2和H2O(g),再將從干燥管中導(dǎo)出的氣體通過(guò)裝有灼熱銅網(wǎng)的硬質(zhì)玻璃管,除去O2,即可得到干燥、純凈的N2。若將混合氣體先通過(guò)灼熱的銅網(wǎng),因氣體中混有水蒸氣,易使硬質(zhì)玻璃管破裂。 (2)若采用溶液除雜,應(yīng)該是除雜在前,干燥在后。其原因是:氣體除雜過(guò)程中會(huì)從溶液中帶入水蒸氣,干燥劑可除去更多 +
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什么是揮發(fā)性有機(jī)物質(zhì)?
揮發(fā)性有機(jī)物,常用VOCs表示,它是Volatile Organic Compounds三個(gè)詞第一個(gè)字母的縮寫,總揮發(fā)性有機(jī)物有時(shí)也用TVOC來(lái)表示。按照世界衛(wèi)生組織的定義沸點(diǎn)在50℃-250℃的化合物,室溫下飽和蒸汽壓超過(guò)133.32Pa,在常溫下以蒸汽形式存在于空氣中的一類有機(jī)物。美國(guó)環(huán)境保護(hù)局對(duì)其的定義是除CO、CO2、H2CO3、金屬碳化物、金屬碳酸鹽和碳酸銨外,任何參加大氣光化學(xué)反應(yīng)的含碳化合物。 揮發(fā)性有機(jī)物是指在室溫下飽和蒸氣壓大于70.91Pa,常溫下沸點(diǎn)小更多 +
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新型環(huán)保絕緣氣體首次應(yīng)用10kV戶外高壓負(fù)荷開(kāi)關(guān)
近日,我國(guó)首次采用新型環(huán)?;旌蠚怏w作為絕緣介質(zhì)的10kV戶外高壓負(fù)荷開(kāi)關(guān),并在國(guó)家高壓電器質(zhì)量監(jiān)督檢驗(yàn)中心通過(guò)了相關(guān)型式試驗(yàn)。 SF6是電力系統(tǒng)中應(yīng)用最為廣泛的氣體絕緣介質(zhì)和滅弧介質(zhì),同時(shí)亦是一種很強(qiáng)的溫室氣體,對(duì)全球變暖影響巨大。新型環(huán)保絕緣氣體的全球增溫潛勢(shì)(GWP)僅為SF6的4%~2%,在同等用量的情況下,使用該氣體的開(kāi)關(guān)設(shè)備,在其整個(gè)生命周期可將CO2排放量減少96%~98%,對(duì)抑制全球變暖作用明顯。此外,由于新氣體的絕緣強(qiáng)度高于SF6,因此開(kāi)關(guān)設(shè)備可處于“微負(fù)壓&rdq更多 +
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