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: 蝕刻技術(shù)中特種氣體的作用

硅片的蝕刻氣體（特種氣體）主要是氟基氣體,包括四氟化碳、四氟化碳/氧氣、六氟化硫、六氟乙烷/氧氣、三氟化氮等。但由于其各向同性,選擇性較差,因此改進(jìn)后的蝕刻氣體通常包括氯基(Cl2)和溴基(Br2、HBr)氣體。反應(yīng)后的生成物包括四氟化硅、四氯硅烷和SiBr4。鋁和金屬?gòu)?fù)合層的蝕刻通常采用氯基氣體,如CCl4、Cl2、BCl3等。產(chǎn)物主要包括AlCl3等蝕刻是采用化學(xué)和物理方法,有選擇地從硅片表面去除不需要的材料的過(guò)程。刻蝕的目的是在涂膠的硅片上正確地復(fù)制掩膜圖形?？涛g分為濕法蝕
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: 影響標(biāo)準(zhǔn)氣體穩(wěn)定度的四大因素

一、氣體組分的相容性。如果配制氮?dú)庵幸谎趸?氮?dú)獾臉?biāo)準(zhǔn)氣體，如果高純氮中含有氧或充裝中帶入氧，那么混合氣體就變成了二氧化氮/氮?dú)饬恕㈩?lèi)似情況的問(wèn)題整理為以下幾點(diǎn)： 1、可燃性氣體或自燃?xì)怏w與氧化性氣體：如果在爆炸下限以上或最小需氧量以上將可燃性氣體和氧化性氣體充入同一個(gè)氣瓶中，會(huì)有爆炸的危險(xiǎn)。碳氫化合物和氫氣作為可燃?xì)怏w容易被人們重視，而一氧化碳的可燃性卻常常被人們忽視，而只是關(guān)注了它的毒性。氧氣是助燃?xì)怏w，而一氧化氮、一氧化二氮、二氧化氮、 F2、氯氣、三氟化氮
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: 我國(guó)已實(shí)現(xiàn)甲烷溫室一步轉(zhuǎn)為液態(tài)

昨日紐小編從上?？萍即髮W(xué)獲悉，該校物質(zhì)科學(xué)與技術(shù)學(xué)院左智偉科研團(tuán)隊(duì)成功開(kāi)發(fā)出一種廉價(jià)、高效的鈰基催化劑和醇催化劑的協(xié)同催化體系，解決了利用光能在室溫下把甲烷一步轉(zhuǎn)化為液態(tài)產(chǎn)品的科學(xué)難題，為甲烷轉(zhuǎn)化成高附加值的化工產(chǎn)品提供了嶄新的解決方案。中國(guó)科學(xué)院院士、上海科技大學(xué)副校長(zhǎng)丁奎嶺這樣評(píng)價(jià)這項(xiàng)研究成果：“由于甲烷分子碳氫鍵的高度穩(wěn)定性和弱極性，它的轉(zhuǎn)化極具挑戰(zhàn)性，通常需要高溫高壓等苛刻的反應(yīng)條件，因此如何在溫和條件下實(shí)現(xiàn)甲烷分子碳氫鍵的官能團(tuán)化，被認(rèn)為是化學(xué)中的&lsqu
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: 激光器使用的激光氣體和切割輔助氣

激光氣體中的發(fā)生氣體時(shí)激光發(fā)生器上用來(lái)產(chǎn)生激光的氣體，對(duì)氣體質(zhì)量要求高，激光混合氣配制精度要求高，高純二氧化碳純度達(dá)99.999%，高純氮?dú)獾募兌?9.999%，高純氦氣的純度要求99.999%，二氧化碳是產(chǎn)生激光的，氦氣是冷卻激光器的，氮?dú)馐瞧胶鈿怏w，氣體中的水分、氧份、有機(jī)氣體雜質(zhì)對(duì)激光機(jī)的鏡片損傷特別大，能快速減少鏡片的壽命。所以激光機(jī)對(duì)這些氣體的質(zhì)量要求特別高。激光切割輔助氣體主要是干燥空氣、高純氮?dú)饣蚬I(yè)氧氣，當(dāng)切割不銹鋼板或是切割鋁板時(shí)一般使用高純氮?dú)?/div> 更多 +

: 如何檢查氣體剩余量？

瓶裝氣體現(xiàn)有氣態(tài)和液態(tài)兩種。氧氣、氮?dú)狻鍤?、氫氣、氦氣、空氣為氣態(tài)氣體，乙炔氣為氣態(tài)溶解在丙酮之中，液氨、二氧化碳、笑氣等為液態(tài)氣體; 檢查氣態(tài)氣體是否符合滿(mǎn)瓶，常用的檢查方法是用壓力表測(cè)試氣瓶的顯示壓力; 檢查液態(tài)氣體是否符合滿(mǎn)瓶，常用的檢查方法是用磅稱(chēng)稱(chēng)重量，氣瓶鋼印所示的“W”符號(hào)是指鋼瓶的重量; 如乙炔氣為4-5Kg/瓶，其稱(chēng)檢方法：總重量減去氣瓶的重量，以此類(lèi)推; 乙炔不以減壓器(表)所顯示的壓力為滿(mǎn)瓶依據(jù)或標(biāo)準(zhǔn)。
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: 高純硅烷和普通硅烷的品質(zhì)指標(biāo)對(duì)比

高純硅烷的品質(zhì)無(wú)統(tǒng)一規(guī)定，各個(gè)生產(chǎn)單位生產(chǎn)的硅烷品質(zhì)通常有微小差別。下標(biāo)是5N、6N級(jí)高純硅烷和普通硅烷品質(zhì)指標(biāo)。從表中可以看出，5N級(jí)硅烷除氫氣、氦氣外，雜質(zhì)氣體氧（氬）、一氧化碳+二氧化碳控制在0.4ppmv，其他雜質(zhì)氣體均在0.2ppmv。6N級(jí)硅烷均控制在0.1ppm。普通硅則高了一個(gè)數(shù)量級(jí)，氯化物甚至達(dá)到了15ppmv，高了兩個(gè)數(shù)量級(jí)。
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: 有趣的氦氣真的安全么？

氦氣，為無(wú)色無(wú)味，不可燃?xì)怏w。化學(xué)性質(zhì)完全不活潑，通常狀態(tài)下不與其它元素或化合物結(jié)合，氦氣在空氣里含量很低，不排除我們呼吸的時(shí)候會(huì)吸進(jìn)一點(diǎn)，因此即使氦氣進(jìn)入人體也是無(wú)害的。但是如果吸入大量氦氣會(huì)導(dǎo)致缺氧，所以吸入大量氦氣對(duì)人體有害。如果不慎吸入大量氦氣，會(huì)造成體內(nèi)氧氣被氦氣取代，因而發(fā)生缺氧（呼吸反射是受體內(nèi)過(guò)量二氧化碳驅(qū)動(dòng)，而對(duì)缺氧并不敏感），嚴(yán)重的甚至?xí)舷⑺劳觥?nbsp; &nb
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: 最全的氧氣用途歸類(lèi)！

氧氣是生命之源，如今氧氣在各個(gè)領(lǐng)域都廣泛運(yùn)用，氧氣生產(chǎn)已經(jīng)是國(guó)民經(jīng)濟(jì)中不可缺少的重要環(huán)節(jié)。它很容易與其他物質(zhì)發(fā)生化學(xué)反應(yīng)而生成氧化物，在氧化反應(yīng)過(guò)程中會(huì)產(chǎn)生大量熱量。因此，氧在生活、冶金、化工、能源、機(jī)械、國(guó)防工業(yè)等部門(mén)得到廣泛應(yīng)用。下面小編就給大家簡(jiǎn)單的介紹一下氧氣的用途。氧氣的用途 1、在煉鋼過(guò)程中吹以高純度氧氣，氧便和碳及磷、硫、硅等起氧化反應(yīng)，這不但降低了鋼的含碳量，還有利于清除磷、硫、硅等雜質(zhì)。產(chǎn)生的熱量足以維持煉鋼過(guò)程所需的溫度，縮短了冶煉時(shí)
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: 液氬到底能從存放多久？多長(zhǎng)時(shí)間會(huì)揮發(fā)完？

液氬儲(chǔ)罐為雙層固定真空粉末絕熱儲(chǔ)罐（貯槽）。內(nèi)膽材質(zhì)采用不銹鋼（其中二氧化碳儲(chǔ)罐為16MnDR），外膽材質(zhì)為Q235B或者16MnR。表面防腐涂層采用噴砂除銹、吹掃、噴涂等工藝，同時(shí)采用了雙組分快速固化液體涂料。該系列產(chǎn)品主要用于液氧、液氮、液氬以及二氧化碳等氣體的低溫液態(tài)存儲(chǔ)。1立方米液體可以代替130支氣體鋼瓶。它可以取代每天用氣瓶往返運(yùn)輸，節(jié)約大量的人力物力資源。該系列產(chǎn)品具有使用壽命長(zhǎng)、結(jié)構(gòu)緊湊、占地面積少、集中控制、操作方便等特點(diǎn)。該產(chǎn)品廣泛應(yīng)用在氣體行業(yè)、醫(yī)院、金屬冶煉等用氣量較大的用戶(hù)，是
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: 超高純氣體了解一下！

首先，我們來(lái)了解一下什么是“超純氣體”呢？超純氣體指純度高于99.99%的氣體,為適應(yīng)一些科學(xué)研究和尖端技術(shù)的特殊需要而制備。一些對(duì)氣體要求特別純凈的部門(mén)，需要超純氣體的純度高達(dá)99.9999%以上,每升氣體中粒度大于0.5μm的塵粒數(shù)應(yīng)小于三個(gè)。目前，超純氣體的品種發(fā)展十分迅速，1981年至今，單一超純氣體已有120多種，混合超純氣體12類(lèi)。除以上的單一超純氣體還有二氧化硫、一氧化碳、二氧化碳、乙烯、正丁烷、砷烷、丙二烯、順丁烯、丁二烯
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