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微電子行業(yè)中的六氟化硫氣體|紐瑞德特氣
六氟化硫氣體在電力電廠方面的應(yīng)用相信大家都很了解,六氟化硫氣體除了作為絕緣介質(zhì),還有些什么用途呢?今日紐瑞德小編就跟大家分享一些關(guān)于六氟化硫氣體所不為大家廣泛了解的用途。 六氟化硫由于靈敏度高,無(wú)毒,性能穩(wěn)定,檢驗(yàn)方法可靠,在自然界中含量極少,因此在環(huán)保行業(yè)中常被作為示蹤劑,用于大氣污染監(jiān)測(cè)和水文地質(zhì)研究。作為目前應(yīng)用較為廣泛的測(cè)定大氣污染的示蹤劑,六氟化硫的示蹤距離可達(dá)100公里?! ? 相關(guān)學(xué)科工作小組的工作使國(guó)際社會(huì)獲得了一種有效的新辨別工具。根據(jù)他們的更多 +
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四氟化碳組分氣體的氣相色譜試驗(yàn)方法
四氟化碳用途廣泛,目前是微電子行業(yè)中用量最大的等離子蝕刻氣體。它作為溫室氣體中的一個(gè)中類(lèi),可以通過(guò)多種途徑進(jìn)入水體、土壤、大氣中,對(duì)環(huán)境造成污染。目前的研究已充分證實(shí)了臭氧層的損耗與四氟化碳?xì)怏w在大氣中釋放的自由基有關(guān)。因此,為了準(zhǔn)確的評(píng)估四氟化碳的排放量,提供四氟化碳組分氣體的分析方法及準(zhǔn)確定值的方法,評(píng)價(jià)該類(lèi)氣體物質(zhì)對(duì)自然環(huán)境以及經(jīng)濟(jì)發(fā)展的影響是當(dāng)前急需解決的問(wèn)題! 國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)物質(zhì)研究中心對(duì)該組份氣體的制備方法、分析方法以及定值方法進(jìn)行了研究。通過(guò)研究確立氣體標(biāo)注物質(zhì)量值的復(fù)現(xiàn)程序及更多 +
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四氟化碳、三氟甲烷、六氟丁二烯電子行業(yè)中重要的蝕刻氣體
蝕刻是電子行業(yè)重要工藝,蝕刻所用氣體稱(chēng)蝕刻氣體, 通常多為氟化物氣體, 例如四氟化碳、全氟丁二烯、三氟化氮、六氟乙烷、全氟丙烷、三氟甲烷等。 作為新一代環(huán)保電子氣體,電子級(jí)C4F6成為集成電路IC芯片等制造時(shí)必不可少的刻蝕氣體,其GWP值簡(jiǎn)直為0,而且能完結(jié)納米級(jí)溝槽的加工,成為電子工業(yè)領(lǐng)域內(nèi)一把神奇的“刻刀”,比γ刀還γ! 2015年,浙化院特種氣體研發(fā)團(tuán)隊(duì)提出自主開(kāi)發(fā)新一代含氟電子氣體C4F6的提純技能。 今天紐小編就帶大家一起看看C4F6是怎樣更多 +
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四氟化碳在微電子行業(yè)的應(yīng)用
四氟化碳,又稱(chēng)為四氟甲烷。它既可以被視為一種鹵代烴、鹵代甲烷、全氟化碳,也可以被視為一種無(wú)機(jī)化合物。所以在電子行業(yè)中制作線路板蝕刻過(guò)程中,需要使用四氟化碳。在蝕刻過(guò)程中,用四氟化碳將多余的銅皮腐蝕掉,附有油墨的電路上銅皮得以保留,之后再用四氟化碳進(jìn)行清洗電路上的油墨再烘干,等工藝。 四氟化碳是目前微電子工業(yè)中用量最大的等離子蝕刻氣體,也可以廣泛應(yīng)用于硅、二氧化硅、氮化硅,磷硅玻璃及鎢等薄膜材料的蝕刻,在電子器件表面清洗,太陽(yáng)能電池的生產(chǎn),鋁合金門(mén)窗制造、激光技術(shù)、氣相絕緣、低溫制冷、泄漏檢驗(yàn)劑、控更多 +
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氮?dú)浠旌蠚怏w在電子行業(yè)的應(yīng)用
在電子器件生產(chǎn)工藝中。廣泛使用了各種高純氣體。按工藝中高純度氣體的不同用途,可將其分為保護(hù)氣、反應(yīng)氣和載氣。 用作保護(hù)氣的有氫氣、氮?dú)?、氧氣及其混合氣。在?guó)內(nèi)為獲取氫氣和氨氣,為獲得較高純度的氫氣,一般都采用電解純水的方法制取。這種方法需用大量電能來(lái)電解水,一般達(dá)4.5~ 5.5kWh /Nm3H2,致使成本很高。 為減少電能消耗,降低成本,都在研制和應(yīng)用各種混合氣。其中,以應(yīng)用氮-氫混合氣為最多。國(guó)外多采用液態(tài)氫和液態(tài)氮汽化法獲得氮?dú)浠旌蠚猓?也有采用液氮分解法更多 +
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氬氣和高純氬氣的用途
氬氣和高純氬氣的用途 氬氣的應(yīng)用領(lǐng)域: 不銹鋼焊接保護(hù)氣體、鋁合金焊接保護(hù)氣體、銅合金的焊接保護(hù)氣體、高純氬氣廣泛用于ICP光譜儀、高純氬氣廣泛用于節(jié)能燈、白熾燈、日光燈的填充氣體、高純氬氣用于ArF準(zhǔn)分子激光氣體、超純氬氣用于電子行業(yè)制造。 氬氣的特殊用途: 用于焊接、不銹鋼制造、冶煉,還用于半導(dǎo)體制造工藝中的化學(xué)氣相淀積、晶體生長(zhǎng)、熱氧化、外延、擴(kuò)散、多晶硅、鎢化、離子注入、載流、燒結(jié)更多 +
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電子氣體的發(fā)展將無(wú)法估量
我國(guó)特種氣體市場(chǎng)起步較晚,所以在技術(shù)領(lǐng)域較國(guó)外巨頭企業(yè)有一定的差距,也正是因?yàn)槿绱颂胤N氣體市場(chǎng)長(zhǎng)期被外企所壟斷。但近年來(lái)國(guó)內(nèi)電子氣體奮起直追,表現(xiàn)格外搶眼。伴隨著國(guó)民經(jīng)濟(jì)的發(fā)展,特別是21世紀(jì)后我國(guó)電子行業(yè)的突飛猛進(jìn),國(guó)內(nèi)特種氣體公司意識(shí)到了專(zhuān)有技術(shù)的重要性。我國(guó)在特種氣體生產(chǎn)、儲(chǔ)存等領(lǐng)域上取得了重要突破,特別是電子特氣目前基本實(shí)現(xiàn)了國(guó)產(chǎn)化,基本打破了國(guó)外企業(yè)的壟斷。更多信息請(qǐng)點(diǎn)擊,或者撥打我們的熱線電話(huà):400-6277-838 近年來(lái)我國(guó)微電子、光電子等電子信息產(chǎn)業(yè)高速發(fā)展,促更多 +
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工業(yè)氣體真的可以生產(chǎn)浮法玻璃嗎?
我們知道工業(yè)氣體和高純氣體的作用很多,在機(jī)械行業(yè),電子行業(yè),石油行業(yè)、檢測(cè)行業(yè)等都有著不可取代的地位,雖然看上去是不起眼的氣體,甚至感覺(jué)不到他存在,但是它的的確確在我們生活中無(wú)處不在,今天我們就來(lái)講生活中最常見(jiàn)的,玻璃,和浮法玻璃,那么,工業(yè)氣體和浮法玻璃又有什么關(guān)系呢?且聽(tīng)我慢慢說(shuō)..... 我們知道,錫槽在浮法玻璃生產(chǎn)中是玻璃成型的關(guān)鍵熱工設(shè)備,因?yàn)椴Aб菏窃谌廴诘腻a液表面攤薄或堆厚成各種厚度的產(chǎn)品的。所以,錫槽工況的好壞對(duì)玻璃的 質(zhì)量、產(chǎn)量都起到至關(guān)重要的作用。而氮基氣氛既更多 +
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