四氟化碳用途廣泛，目前是微電子行業(yè)中用量最大的等離子蝕刻氣體。它作為溫室氣體中的一個(gè)中類，可以通過(guò)多種途徑進(jìn)入水體、土壤、大氣中，對(duì)環(huán)境造成污染。目前的研究已充分證實(shí)了臭氧層的損耗與四氟化碳?xì)怏w在大氣中釋放的自由基有關(guān)。因此，為了準(zhǔn)確的評(píng)估四氟化碳的排放量，提供四氟化碳組分氣體的分析方法及準(zhǔn)確定值的方法，評(píng)價(jià)該類氣體物質(zhì)對(duì)自然環(huán)境以及經(jīng)濟(jì)發(fā)展的影響是當(dāng)前急需解決的問(wèn)題！
國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)物質(zhì)研究中心對(duì)該組份氣體的制備方法、分析方法以及定值方法進(jìn)行了研究。通過(guò)研究確立氣體標(biāo)注物質(zhì)量值的復(fù)現(xiàn)程序及保存方法，建立我國(guó)溫室氣體檢測(cè)用基準(zhǔn)氣體組用于保存和復(fù)現(xiàn)CF4/Air、CF4/N2兩種國(guó)家級(jí)氣體
標(biāo)準(zhǔn)物質(zhì)。
該研究運(yùn)用氣相色譜熱導(dǎo)檢測(cè)器，它的基本原理是將電流加熱后的金屬絲置于熱導(dǎo)系數(shù)大的氫載氣中，由于四氟化碳組分氣體的熱導(dǎo)系數(shù)比氫氣的高，所以當(dāng)四氟化碳組分氣體被載氣攜帶流入檢測(cè)器是，金屬絲的溫度上升，通過(guò)測(cè)定由于溫度上升而引起金屬絲的電阻變化而得到
四氟化碳組分氣體的氣相色譜圖。
以下氣相色譜試驗(yàn)方法及條件：
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