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四氟化碳組分氣體的氣相色譜試驗方法

文章出處：責任編輯：人氣：-發(fā)表時間：2019-07-31 14:38:00【大中小】

四氟化碳用途廣泛，目前是微電子行業(yè)中用量最大的等離子蝕刻氣體。它作為溫室氣體中的一個中類，可以通過多種途徑進入水體、土壤、大氣中，對環(huán)境造成污染。目前的研究已充分證實了臭氧層的損耗與四氟化碳氣體在大氣中釋放的自由基有關。因此，為了準確的評估四氟化碳的排放量，提供四氟化碳組分氣體的分析方法及準確定值的方法，評價該類氣體物質(zhì)對自然環(huán)境以及經(jīng)濟發(fā)展的影響是當前急需解決的問題！

國家標準物質(zhì)研究中心對該組份氣體的制備方法、分析方法以及定值方法進行了研究。通過研究確立氣體標注物質(zhì)量值的復現(xiàn)程序及保存方法，建立我國溫室氣體檢測用基準氣體組用于保存和復現(xiàn)CF4/Air、CF4/N2兩種國家級氣體標準物質(zhì)。

該研究運用氣相色譜熱導檢測器，它的基本原理是將電流加熱后的金屬絲置于熱導系數(shù)大的氫載氣中，由于四氟化碳組分氣體的熱導系數(shù)比氫氣的高，所以當四氟化碳組分氣體被載氣攜帶流入檢測器是，金屬絲的溫度上升，通過測定由于溫度上升而引起金屬絲的電阻變化而得到四氟化碳組分氣體的氣相色譜圖。

以下氣相色譜試驗方法及條件：