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硅烷在使用中有哪些容易被大家忽略的安全風(fēng)險(xiǎn)
硅烷的一大應(yīng)用是非晶半導(dǎo)體非晶硅。與單晶半導(dǎo)體材料相比非晶硅的特點(diǎn)是容易形成極薄的(厚度10nm左右)大面積器件,襯底可以是玻璃、不銹鋼、甚至塑料,表面可以是平面也可是曲面,因此可以制成各種性能優(yōu)異的器件。 如今,硅烷已成為半導(dǎo)體微電子工藝中使用的最主要的特種氣體, 用于各種微電子薄膜制備, 包括單晶膜、微晶、多晶、氧化硅、氮化硅、金屬硅化物等。硅烷的微電子應(yīng)用還在向縱深發(fā)展: 低溫外延、選擇外延、異質(zhì)外延。不僅用于硅器件和硅集成電路,也用于化合物半導(dǎo)體器件(砷化鎵、碳化硅等)。在超晶更多 +
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微電子行業(yè)中的六氟化硫氣體|紐瑞德特氣
六氟化硫氣體在電力電廠方面的應(yīng)用相信大家都很了解,六氟化硫氣體除了作為絕緣介質(zhì),還有些什么用途呢?今日紐瑞德小編就跟大家分享一些關(guān)于六氟化硫氣體所不為大家廣泛了解的用途。 六氟化硫由于靈敏度高,無(wú)毒,性能穩(wěn)定,檢驗(yàn)方法可靠,在自然界中含量極少,因此在環(huán)保行業(yè)中常被作為示蹤劑,用于大氣污染監(jiān)測(cè)和水文地質(zhì)研究。作為目前應(yīng)用較為廣泛的測(cè)定大氣污染的示蹤劑,六氟化硫的示蹤距離可達(dá)100公里。 相關(guān)學(xué)科工作小組的工作使國(guó)際社會(huì)獲得了一種有效的新辨別工具。根據(jù)他們的更多 +
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常見(jiàn)的5種電子混合氣體|紐瑞德特氣
氣體在半導(dǎo)體工業(yè)和微電子工業(yè)中扮演著不可或缺的角色,其中除了大家熟知的一些大宗氣體以外,還有一個(gè)重要的分支:電子混合氣體。電子混合氣體廣泛用于大規(guī)模集成電路(L.S.I)超大規(guī)模集成電路(V.L.S.I)和半導(dǎo)體器件生產(chǎn)中,主要用于氣相外延(生成)、化學(xué)氣相淀積、摻雜(雜質(zhì)擴(kuò)散)、各類蝕刻和離子注入等工藝中。 根據(jù)不同用途又可以將電子混合氣體分為:晶體生長(zhǎng)氣、熱氧化氣、外延氣、摻雜氣、擴(kuò)散氣、化學(xué)氣相淀積氣、噴射氣、離子注入氣、等離子蝕刻氣、載氣/吹洗氣、光刻氣、退火氣、焊更多 +
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六氟化硫氣體每公斤多少錢?|來(lái)紐瑞德獲取最新價(jià)格
六氟化硫氣體具有良好的電氣絕緣性能及優(yōu)異的滅弧性能。其耐電強(qiáng)度為同一壓力下氮?dú)獾?.5倍,擊穿電壓是空氣的2.5倍,滅弧能力是空氣的100倍,是一種優(yōu)于空氣和油之間的新一代超高壓絕緣介質(zhì)材料。 六氟化硫以其良好的絕緣性能和滅弧性能,如:斷路器、高壓變壓器、氣封閉組合電容器、高壓傳輸線、互感器等。電子級(jí)高純六氟化硫是一種理想的電子蝕刻劑,被大量應(yīng)用于微電子技術(shù)領(lǐng)域。冷凍工業(yè)作為制冷劑,制冷范圍可在-45℃~0℃之間。 電氣工業(yè)利用其很高介電強(qiáng)度和良好的滅電弧性能,用作高更多 +
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四氟化碳組分氣體的氣相色譜試驗(yàn)方法
四氟化碳用途廣泛,目前是微電子行業(yè)中用量最大的等離子蝕刻氣體。它作為溫室氣體中的一個(gè)中類,可以通過(guò)多種途徑進(jìn)入水體、土壤、大氣中,對(duì)環(huán)境造成污染。目前的研究已充分證實(shí)了臭氧層的損耗與四氟化碳?xì)怏w在大氣中釋放的自由基有關(guān)。因此,為了準(zhǔn)確的評(píng)估四氟化碳的排放量,提供四氟化碳組分氣體的分析方法及準(zhǔn)確定值的方法,評(píng)價(jià)該類氣體物質(zhì)對(duì)自然環(huán)境以及經(jīng)濟(jì)發(fā)展的影響是當(dāng)前急需解決的問(wèn)題! 國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)物質(zhì)研究中心對(duì)該組份氣體的制備方法、分析方法以及定值方法進(jìn)行了研究。通過(guò)研究確立氣體標(biāo)注物質(zhì)量值的復(fù)現(xiàn)程序及更多 +
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四氟化碳是什么?有什么用?
四氟化碳又稱四氟甲烷,被視為一種無(wú)機(jī)化合物。用于各種集成電路的等離子刻蝕工藝,也用作激光氣體及制冷劑。常溫常壓下比較穩(wěn)定,但是需要避免接觸強(qiáng)氧化劑、易燃或可燃物。四氟化碳是不燃?xì)怏w,如果遇到高熱后會(huì)造成容器內(nèi)壓增大,有開(kāi)裂、爆炸危險(xiǎn)。通常常溫下只會(huì)與液氨-金屬鈉試劑能發(fā)生作用。 四氟化碳是目前微電子工業(yè)中用量最大的等離子蝕刻氣體,可廣泛用于硅、二氧化硅,磷硅玻璃等薄膜材料的蝕刻,在電子器件表面清洗,太陽(yáng)能電池的生產(chǎn),激光技術(shù)、氣相絕緣、低溫制冷、泄露檢驗(yàn)劑、印刷電路生產(chǎn)中的去污劑等更多 +
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氙氣在芯片制造業(yè)中前途不可估量!
氙氣在電子芯片制造業(yè)中的最新使用 氙氣作為稀有氣體,目前國(guó)內(nèi)產(chǎn)量較低。跟著科技的開(kāi)展,氙氣的使用領(lǐng)域越來(lái)越廣泛,首要使用于電光源、醫(yī)療、科研、航空航天等。 近年來(lái),氙氣就被廣泛使用于電子芯片制造業(yè),這也是目前氙需求增加及對(duì)氙投機(jī)生意的最重要原因。多家大型芯片制造商正使用氙氣等離子蝕刻,首要用于微電子機(jī)械系統(tǒng)( MEMS )的制造。MEMS 設(shè) 備可將微電子和微機(jī)械集成為一個(gè)全體,能在一塊芯片上制作更復(fù)雜及成效更強(qiáng)的電路。這種技術(shù)從根本上把電腦芯片(處理數(shù)據(jù))和傳感器(搜集數(shù)據(jù))結(jié)合到一個(gè)元件上,能夠批量出產(chǎn),這更多 +
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2019年電子氣體、標(biāo)準(zhǔn)氣體、高純氣體的發(fā)展現(xiàn)狀
隨著近年來(lái)國(guó)防工業(yè)、科學(xué)研究、自動(dòng)化技術(shù)、精密檢測(cè),特別是微電子技術(shù)的發(fā)展,特種氣體行業(yè)新興起來(lái)。特種氣體是工業(yè)氣體中的一個(gè)新興門類,從應(yīng)用領(lǐng)域劃分,主要有電子氣體、高純氣體、標(biāo)準(zhǔn)氣體三大類。 近年來(lái),隨著下游應(yīng)用領(lǐng)域的逐步擴(kuò)展,特種氣體的品種也與日俱增,據(jù)不完全統(tǒng)計(jì),我國(guó)已有的特種氣體達(dá)260余種。 隨著非低溫氣體分離技術(shù)(吸附、膜分離)、混配技術(shù)和提純技術(shù)的發(fā)展,更多的特種氣體產(chǎn)品將逐步走向市場(chǎng)。 電子氣體主要分為氫化物(超純氫、硅烷、磷烷等更多 +
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半導(dǎo)體行業(yè)發(fā)展迅猛,電子氣體迎來(lái)新機(jī)遇!
紐瑞德小編了解到,在9月13日召開(kāi)的2018年中國(guó)集成電路產(chǎn)業(yè)發(fā)展研討會(huì)上,中國(guó)半導(dǎo)體行業(yè)協(xié)會(huì)副理事長(zhǎng)于燮康介紹,上半年,中國(guó)集成電路產(chǎn)業(yè)實(shí)現(xiàn)收入2726.5億元,同比增長(zhǎng)23.9%。其中,集成電路制造領(lǐng)域收入737.4億元,同比增長(zhǎng)29.1%。 中科院微電子研究所所長(zhǎng)表示,集成電路制造既可以帶動(dòng)國(guó)產(chǎn)裝備和材料發(fā)展,又可以服務(wù)于集成電路設(shè)計(jì)企業(yè),是集成電路產(chǎn)業(yè)的中樞環(huán)節(jié)。國(guó)內(nèi)集成電路制造工藝已取得長(zhǎng)足進(jìn)步,65納米、40納米、28納米工藝相繼量產(chǎn),14納米技術(shù)研發(fā)取得突破,特色工藝競(jìng)爭(zhēng)力提高。&l更多 +
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四氟化碳在微電子行業(yè)的應(yīng)用
四氟化碳,又稱為四氟甲烷。它既可以被視為一種鹵代烴、鹵代甲烷、全氟化碳,也可以被視為一種無(wú)機(jī)化合物。所以在電子行業(yè)中制作線路板蝕刻過(guò)程中,需要使用四氟化碳。在蝕刻過(guò)程中,用四氟化碳將多余的銅皮腐蝕掉,附有油墨的電路上銅皮得以保留,之后再用四氟化碳進(jìn)行清洗電路上的油墨再烘干,等工藝。 四氟化碳是目前微電子工業(yè)中用量最大的等離子蝕刻氣體,也可以廣泛應(yīng)用于硅、二氧化硅、氮化硅,磷硅玻璃及鎢等薄膜材料的蝕刻,在電子器件表面清洗,太陽(yáng)能電池的生產(chǎn),鋁合金門窗制造、激光技術(shù)、氣相絕緣、低溫制冷、泄漏檢驗(yàn)劑、控更多 +
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