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介紹電子級(jí)氣體的小知識(shí)
天然氣行業(yè)術(shù)語。半導(dǎo)體工業(yè)中使用的氣體統(tǒng)稱為電子氣體。它可以分為三類:純氣體、純氣體和半導(dǎo)體特殊材料氣體。特殊材料氣體主要用于外延、摻雜和蝕刻工藝;高純度氣體主要用作稀釋氣體和載氣。電子氣體是特種氣體的一個(gè)重要分支。根據(jù)純度和用途,電子氣體可分為電子級(jí)、LSI(大規(guī)模集成電路)級(jí)、VLSI(超大規(guī)模集成電路)和ULSI(超大規(guī)模電路)級(jí)。 優(yōu)質(zhì)電子氣體是集成電路、光電子、微電子技術(shù)發(fā)展不可或缺的基礎(chǔ)材料,特別是在VLSI、LCD器件、半導(dǎo)體燈和半導(dǎo)體材料的制造過程中。它被稱為電子行業(yè)的&ldquo更多 +
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高純氨氣制取的四項(xiàng)關(guān)鍵技術(shù)
高純度氨產(chǎn)品是光電子和微電子技術(shù)不可或缺的支撐材料。它廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體照明、平板顯示器、太陽能電池和大型集成電路的制造。高純度氨的質(zhì)量直接影響材料的光學(xué)和電學(xué)性能,甚至影響設(shè)備的使用壽命。國內(nèi)外都有巨大的潛在市場(chǎng)。隨著國內(nèi)半導(dǎo)體工業(yè)的發(fā)展,對(duì)高純度氨的需求快速增長(zhǎng),高純度電子氣體的國產(chǎn)化是必然的發(fā)展趨勢(shì)。 高純度氨也是通過有機(jī)金屬化學(xué)氣相沉積(MOCVD)技術(shù)生產(chǎn)第三代復(fù)合半導(dǎo)體材料氮化鎵(GaN)的重要支撐材料。MOCVD生產(chǎn)氮化鎵(GaN)要求所用的氨必須是高純度和超清潔的,純度為7N(99.99更多 +
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六氟乙烷的應(yīng)用
電子工業(yè):六氟乙烷作為等離子體蝕刻的工作氣體,在微電子工業(yè)的發(fā)展中發(fā)揮著重要作用,是處理超大規(guī)模集成電路的必要介質(zhì); 2.制冷和空調(diào)行業(yè):六氟乙烷用作制冷和空調(diào)的制冷劑。六氟乙烷也可以與HFC-23形成共沸物R-508B,這不會(huì)破壞臭氧層。R-508B在多級(jí)壓縮循環(huán)的低溫段中用作CF-13和R-503的替代品; 3.化學(xué)工業(yè):六氟乙烷可作為化學(xué)反應(yīng)中的氟化物添加劑; 4.能源工業(yè):六氟乙烷可作為電氣設(shè)備的絕緣劑和高介電強(qiáng)度的冷卻劑; 5.其他:六氟乙烷可用于設(shè)備表面清潔和纖維生產(chǎn)。更多 +
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特種氣體在LED中的應(yīng)用
特種氣體是光電子、微電子和其他領(lǐng)域不可或缺的硅基載體材料,尤其適用于超大規(guī)模集成電路、LCD器件、非晶硅薄膜太陽能電池、半導(dǎo)體燈和半導(dǎo)體材料制造工藝。其純度和清潔度直接影響光電子和微電子元件的質(zhì)量、集成度、特定技術(shù)指標(biāo)和產(chǎn)量,并從根本上限制了電路和器件的準(zhǔn)確性和準(zhǔn)確性。 半導(dǎo)體照明是一個(gè)正在崛起的行業(yè)。隨著復(fù)合半導(dǎo)體市場(chǎng)的擴(kuò)大,對(duì)特種氣體的需求越來越強(qiáng)烈,外延生長(zhǎng)需要大量高純度源和工藝氣體。目前,臺(tái)灣和日本在復(fù)合半導(dǎo)體市場(chǎng)占有很高的份額。近年來,中國和韓國的發(fā)展勢(shì)頭強(qiáng)勁,北美和歐洲的份額也有所增加更多 +
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六氟化硫廠家在我國的發(fā)展如何
因六氟化硫氣體的廣泛應(yīng)用,六氟化硫廠家在電氣行業(yè)、金屬冶煉、微電子等行業(yè)中,有著重要作用。下面,小編就來說說該廠家在我國的發(fā)展現(xiàn)狀如何吧! 我國對(duì)六氟化硫電氣設(shè)備的認(rèn)識(shí)始于20世紀(jì)60年代。因此,我國的六氟化硫廠家的發(fā)展起步相比發(fā)達(dá)國家比較晚。在70年代初,國產(chǎn)設(shè)備采開始投運(yùn),***組氣體絕緣變電站引進(jìn),我國由此開啟了六氟化硫生產(chǎn)利用的新局面。 至80年代改革開放時(shí)期,大量的六氟化硫廠家開始引進(jìn)國外的先進(jìn)電氣設(shè)備,并不斷研發(fā)新設(shè)備,改進(jìn)技術(shù),進(jìn)一步促進(jìn)了我國六更多 +
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微電子工業(yè)中的六氟化硫
六氟化硫因其靈敏度高、無毒、性能相對(duì)穩(wěn)定、檢測(cè)技術(shù)和方法可靠、性質(zhì)多樣、含量低,常被用作環(huán)境保護(hù)和管理行業(yè)空氣污染監(jiān)測(cè)和水文地質(zhì)問題研究的示蹤劑更多 +
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微電子行業(yè)中的六氟化硫氣體
六氟化硫具有靈敏度高、無毒、性能相對(duì)穩(wěn)定、檢測(cè)技術(shù)和方法可靠、性質(zhì)多樣、含量低等特點(diǎn),常被用作環(huán)境信息保護(hù)管理行業(yè)大氣污染監(jiān)測(cè)和水文地質(zhì)問題研究的示蹤物。更多 +
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六氟化硫有什么作用?
SF6具有良好的電氣絕緣性,是空氣和氮?dú)獾?倍。約五倍。六氟化硫具有良好的滅弧性能,其滅弧能力約為空氣的100倍,其化學(xué)性質(zhì)非常穩(wěn)定,因此六氟化硫被廣泛用作絕緣氣體,如六氟化硫繼電器、六氟化硫高壓開關(guān)、六氟化硫互導(dǎo)傳感器、,六氟化硫避雷針等。 在鎂合金和鎂鋁合金的熔煉過程中,通常使用六氟化硫氣體或六氟化硫和氮的混合物作為保護(hù)氣體,以防止鎂及其合金被空氣氧化。 在TFT-LCD面板工廠和其他微電子行業(yè)中,六氟化硫通常用作清潔氣體和蝕刻氣體。在光纖的生產(chǎn)過程中,六氟化硫也常用作單層光纖絕緣層的摻雜劑。 應(yīng)用(更多 +
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什么是標(biāo)準(zhǔn)氣體的分析準(zhǔn)確度
標(biāo)準(zhǔn)氣體和混合氣體廣泛應(yīng)用于基礎(chǔ)研究、空氣污染、醫(yī)療診斷、石油化工、冶金地質(zhì)、核能、微電子、光電子等諸多領(lǐng)域。 標(biāo)準(zhǔn)氣體被用戶用作定量標(biāo)準(zhǔn)。標(biāo)準(zhǔn)氣體屬于標(biāo)準(zhǔn)物質(zhì),是計(jì)量量值的標(biāo)準(zhǔn),具有復(fù)制、溯源、仲裁、保存和傳遞量值的功能。因此,在標(biāo)準(zhǔn)氣體的生產(chǎn)中,氣體分布的準(zhǔn)確性非常重要,否則就無法用于質(zhì)量分析和控制。國際標(biāo)準(zhǔn)化組織(IS0)已于1981年制定了標(biāo)準(zhǔn)氣體生產(chǎn)的國際標(biāo)準(zhǔn)。1985年,中國還將該標(biāo)準(zhǔn)視為國家標(biāo)準(zhǔn)(gb5274-85)。該標(biāo)準(zhǔn)明確要求,在離開工廠時(shí),必須在制備證書上注明標(biāo)準(zhǔn)氣體成分的相對(duì)不確定度。更多 +
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標(biāo)準(zhǔn)氣體的分析準(zhǔn)度
標(biāo)準(zhǔn)氣體、混合氣體廣泛地應(yīng)用于基礎(chǔ)科學(xué)、大氣污染、醫(yī)學(xué)診斷、石油化工、冶金地質(zhì)、原子能、微電子、光電子等諸多領(lǐng)域。 標(biāo)準(zhǔn)氣體的分析準(zhǔn)確度 標(biāo)準(zhǔn)氣體是供用戶作定量標(biāo)準(zhǔn)的,由于標(biāo)準(zhǔn)氣體屬于標(biāo)準(zhǔn)物質(zhì),是量值測(cè)定的標(biāo)準(zhǔn),具有復(fù)現(xiàn)、溯源、仲裁、保存和傳遞量值的作用。因此,配氣的準(zhǔn)確度在標(biāo)準(zhǔn)氣生產(chǎn)中意義重大,否則用戶無法用此來進(jìn)行質(zhì)量的分析與控制。早在1981年國際標(biāo)準(zhǔn)化組織(IS0)就制定了標(biāo)準(zhǔn)氣體制備的國際標(biāo)準(zhǔn),1985年我國也將該標(biāo)準(zhǔn)視同為國家標(biāo)準(zhǔn)(GB5274—85)。該標(biāo)準(zhǔn)明確要求標(biāo)準(zhǔn)氣體在出廠時(shí)必須在制備證更多 +
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