電子工業(yè):六氟乙烷作為等離子體蝕刻的工作氣體,在微電子工業(yè)的發(fā)展中發(fā)揮著重要作用,是處理超大規(guī)模集成電路的必要介質(zhì);
2.制冷和空調(diào)行業(yè):六氟乙烷用作制冷和空調(diào)的制冷劑。六氟乙烷也可以與HFC-23形成共沸物R-508B,這不會破壞臭氧層。R-508B在多級壓縮循環(huán)的低溫段中用作CF-13和R-503的替代品;
3.化學工業(yè):六氟乙烷可作為化學反應中的氟化物添加劑;
4.能源工業(yè):六氟乙烷可作為電氣設備的絕緣劑和高介電強度的冷卻劑;
5.其他:六氟乙烷可用于設備表面清潔和纖維生產(chǎn)。