天然氣行業(yè)術語。半導體工業(yè)中使用的氣體統(tǒng)稱為電子氣體。它可以分為三類：純氣體、純氣體和半導體特殊材料氣體。特殊材料氣體主要用于外延、摻雜和蝕刻工藝；高純度氣體主要用作稀釋氣體和載氣。電子氣體是特種氣體的一個重要分支。根據純度和用途，電子氣體可分為電子級、LSI（大規(guī)模集成電路）級、VLSI（超大規(guī)模集成電路）和ULSI（超大規(guī)模電路）級。

優(yōu)質電子氣體是集成電路、光電子、微電子技術發(fā)展不可或缺的基礎材料，特別是在VLSI、LCD器件、半導體燈和半導體材料的制造過程中。它被稱為電子行業(yè)的“血液”和“谷物”。其純度和清潔度直接影響光電子和微電子元件的質量、集成度、特定技術指標和產量，并從根本上限制了電路和器件的準確性和準確性。

近年來，隨著我國超大規(guī)模集成電路、平板顯示器、光伏發(fā)電等產業(yè)的快速發(fā)展，電子氣體市場需求大幅增加，特種電子氣體國產化已成為大勢所趨。很明顯，中國在國產化方面取得了可喜的進展：國產高純度氨改變了外國天然氣公司的市場壟斷格局，高純度四氟化氫“有價值但不可用”的時代已經結束，高純度氯化氫成功打開了國內市場。