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科技創(chuàng)新助力電子氣體產(chǎn)業(yè)發(fā)展
近年來，5G，人工智能（AI）和物聯(lián)網(wǎng)等技術(shù)帶動了泛半導體的高速發(fā)展。電子材料是半導體的支撐產(chǎn)業(yè)，電子氣體是半導體制造中僅次于晶圓的第二大類重要材料，品類多達百余種。日前，2021中國先進電子材料產(chǎn)業(yè)發(fā)展大會上發(fā)表了《科技創(chuàng)新助力電子氣體產(chǎn)業(yè)發(fā)展》通過對國內(nèi)電子氣體材料“卡脖子”現(xiàn)狀深入分析，指明了電子氣體技術(shù)的未來發(fā)展趨勢。 電子氣體核心技術(shù)通常有四個大類，即合成技術(shù)、純化技術(shù)、潔凈灌裝技術(shù)和檢測技術(shù)。計總通過科利德公司電子級一氧化氮（NO）的生產(chǎn)案例向大家介紹了合成更多 +
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電子特種氣體供需問題亟待通過回收再利用技術(shù)解決
面對半導體制造過程中特種氣體使用量持續(xù)增大帶來的溫室氣體排放問題和地緣政治問題引起的特殊氣體供求問題，韓國專家專家提出了發(fā)展特種氣體再利用技術(shù)的解決方案。 近年來，隨著半導體及顯示器產(chǎn)業(yè)的高速發(fā)展，特種氣體的使用量和排放量急劇增加，因此抑制該領域溫室氣體排放已經(jīng)成為當務之急。在半導體材料·特種氣體研討會上，韓國代表就“半導體氣體Recycling技術(shù)和局限性”進行了專題研討。他認為，由于各國之間的貿(mào)易爭端，氦、氖、氪、氙等稀有氣體的回收和再利用刻不容緩。目前半導體更多 +
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存儲芯片需求增長，2025年電子級稀有氣體用量或增加至850ML
在信息時代的飛速發(fā)展中，海量數(shù)據(jù)的處理不僅對于芯片算力提出越來越高的要求，不斷累積的數(shù)據(jù)也需要更大、更快、延時更低的存儲介質(zhì)。電子工業(yè)中氪氙氣體主要用于3D NAND存儲器高深寬比刻蝕工藝，從而實現(xiàn)多層堆疊結(jié)構(gòu)。預計2025年全球電子級稀氪氖氙氣體用量將增加至850ML，較2020年增長29%。 激光氣體主要用于電子工業(yè)中激光退火和光刻氣。光刻機是半導體制造的核心設備，光刻定義了晶體管尺寸，光刻產(chǎn)業(yè)鏈協(xié)同發(fā)展是光刻機突破關(guān)鍵。與之配套的光刻膠、光刻氣體、光罩等半導體更多 +
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USGS：美國約有3060億立方英尺可回收氦氣，會影響氦氣價格么？
美國地質(zhì)勘探局表示，目前幾乎所有商業(yè)氦氣供應都來自天然氣的生產(chǎn)。當天然氣被泵送到地表時，它會帶來其他氣體，如氦氣。然后將氦氣與天然氣分開采集和儲存。 在可預見的未來，醫(yī)療成像、半導體制造、激光焊接、航空航天、國防和能源項目對氦氣的高度需求會持續(xù)存在。 美國地質(zhì)勘探局對可回收氦資源的首次估計，美國的天然氣儲層估計含有3060億立方英尺的可采氦氣。 2020年美國氦氣生產(chǎn)量為6100萬立方米，約占全球總產(chǎn)量的44%。這份評估顯示2020年美國產(chǎn)量水平更多 +
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切割用四元激光混合氣體最佳方案！
氣體激光器的重要特點之一，激光工作物質(zhì)是混合氣或單一純氣體因此，對激光混合氣組分的純度有著特殊要求，包裝混合氣的鋼瓶，充裝前也必須進行干燥處理，防止污染混合氣。 如果將氦（He）氖（Ne）激光作為第一代氣體激光，二氧化碳激光混合氣體是第二代氣體激光，在半導體制造領域?qū)⒋罅渴褂玫姆矗↘rF）激光，可稱為第三代激光。 今天介紹一種激光切割機用的激光混合氣體，二維激光切割機床用的四元激光混合氣體，主要用于鋼材的鈑金加工。 激光切割領域較長使用的二氧化碳激光混合氣體，這更多 +
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氣體純度對激光混合氣的重要性
激光混合氣中組分氣的純度直接影響激光的性能，特別是氣體中氧、水、碳氫化合物等雜質(zhì)的存在將導致激光輸出功率在鏡(面)和電極上的耗損，還會引起激光發(fā)射的不穩(wěn)定。 激光混合氣組分的純度有著特殊要求，包裝混合氣的鋼瓶，充裝前也必須進行干燥處理，防止污染混合氣。如果將氦(He)氖(Ne)激光作為第一代氣體激光，二氧化碳激光是第二代氣體激光，在半導體制造領域?qū)⒋罅渴褂玫姆?KrF)激光，可稱為第三代激光。 激光混合氣中的發(fā)生氣體是激光發(fā)生器上用來產(chǎn)生激光的氣體，對氣體質(zhì)量要求高，激光混合氣配制精度要求高更多 +
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氬氣和高純氬氣的用途
氬氣和高純氬氣的用途 氬氣的應用領域： 不銹鋼焊接保護氣體、鋁合金焊接保護氣體、銅合金的焊接保護氣體、高純氬氣廣泛用于ICP光譜儀、高純氬氣廣泛用于節(jié)能燈、白熾燈、日光燈的填充氣體、高純氬氣用于ArF準分子激光氣體、超純氬氣用于電子行業(yè)制造。 氬氣的特殊用途： 用于焊接、不銹鋼制造、冶煉，還用于半導體制造工藝中的化學氣相淀積、晶體生長、熱氧化、外延、擴散、多晶硅、鎢化、離子注入、載流、燒結(jié)更多 +
