超高純氮?dú)?/span>等超高純氣體一般用在集成電路、半導(dǎo)體和電真空器件制造中用作保護(hù)氣和運(yùn)

載氣，化學(xué)氣相淀積時(shí)的載氣，液體擴(kuò)散源的攜帶氣，在高溫?cái)U(kuò)散爐中用作器件的保護(hù)氣。

超高純氮?dú)庠谕庋?、光刻、清洗和蒸發(fā)等工序中，作為置換、干燥、貯存和輸送用氣體。

顯像管制造中要求氮?dú)饧兌葹?9.99%以上。在航天技術(shù)中，液氫加注系統(tǒng)必須先用超高

純氮?dú)庵脫Q，再用超高純氮?dú)庵脫Q。

對于超純氣體，任何微小的污染都會(huì)嚴(yán)重影響氣體的質(zhì)量，因此氣體貯存和運(yùn)輸過程中

的潔凈和高度密封性特別重要。超純氣體主要采用高壓鋼瓶或低溫液化氣體容器貯存和

運(yùn)輸。

高壓鋼瓶堅(jiān)實(shí)耐用，運(yùn)輸和使用靈活，氣體無損耗，但氣體純度穩(wěn)定性較差；低溫液化

氣體容器單位容積貯量很大，但有氣體排放損耗。

超高純氮?dú)獾膬?chǔ)存是一項(xiàng)細(xì)致而嚴(yán)格的工作，需要多方面考慮，從選擇合適的儲(chǔ)存器到

嚴(yán)格監(jiān)控儲(chǔ)存過程中的各環(huán)節(jié)，全方位保障氮?dú)獾募兌群唾|(zhì)量，從而確保其在集成電路、

半導(dǎo)體和電真空器件制造領(lǐng)域的廣泛應(yīng)用。