制備和應(yīng)用超高純氮氣的方法

超純氣體是指純度高于99.999%的氣體，是一種高純度的化學(xué)試劑。為了滿足一些科學(xué)研究和尖端技術(shù)的

特殊需要而制備。對于一些需要特別純氣體的部門，超純氣體的純度高達99.999%，每升氣體的粒度大于

0.5μm的塵粒數(shù)量應(yīng)小于三個。

超純氣體品種用途：

大約有300種。中國可以生產(chǎn)十多種單一的超純氣體，幾十種混合超純氣體。除了表中列出的主要品種外

，還有二氧化硫、一氧化碳、二氧化碳、乙烯、正丁烷、砷、丙二烯、順丁烯、丁二烯等單一超純氣體。

混合超純氣體是上述單一超純氣體的混合氣體，具有純氬-氮混合氣體用于電光源中鎢絲的還原，純氬-鎂

混合氣體、氬報-氦混合氣體用于霓虹燈充氣等。，以及許多超純混合氣體作為色譜、質(zhì)譜和光譜分析中的

標(biāo)準(zhǔn)氣體。

超純氣體的制備多為工業(yè)氣體的純化，包括吸附、吸收、膜擴散、電解、生化、輻射、光解、低溫精餾、

催化等。比如超純氫、氮、氦、氬，先通過空氣分離提取更純的氣體，再通過低溫吸附獲得超純的氣體；

粗氬也可以從合成氨放氣中提?。淮蛛春碗瘡暮肆炎儦庵刑崛?，然后通過純化獲得超純氣體。

吸附法、變壓吸附法、膜分離法等都是超高純氮純化的主要方法。生產(chǎn)中，一般采用黑色鋼瓶盛放氮氣。


超高純氮氣

用途：

在集成電路、半導(dǎo)體和電真空設(shè)備的制造中，它被用作保護氣體和運輸氣體、化學(xué)氣相積累時的氣體和

液體擴散源的氣體，在高溫擴散爐中被用作設(shè)備的保護氣體。超高純氮在延伸、光刻、清洗和蒸發(fā)過程

中被用作替代、干燥、儲存和輸送氣體。顯像管制造要求氮純度在99.99%以上。在航天技術(shù)中，液氫加

注系統(tǒng)必須首先用超高純氮替代，然后用超高純氮替代。


貯運：

對于超純氣體，任何微小的污染都會嚴(yán)重影響氣體的質(zhì)量，因此氣體儲存和運輸過程中的清潔度和高密封

性尤為重要。超純氣體主要儲存和運輸高壓鋼瓶或低溫液化氣體容器。高壓鋼瓶堅固耐用，運輸使用靈活，

氣體無損耗，但氣體純度穩(wěn)定性差；低溫液化氣體容器容量大，但有氣體排放損耗。

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