氯氣既能夠用于消毒、制作鹽酸和漂白粉、制作氯代烴。也能夠用于制作多種農(nóng)藥，制作氯仿等有機溶劑，所以氯氣是一種重要的化工原料。氬氣是一種稀有氣體。無論是氣態(tài)還是液態(tài)，都是無色、無味并且無毒。在不銹鋼、錳、鋁、鈦和其它特種金屬電弧焊接時、鋼鐵出產(chǎn)時，氬氣常用作保護(hù)氣體。氬氣和氯氣一個有毒一個無毒，當(dāng)氯氣遇到高純氬氣的時候會發(fā)生什么奇妙的反響呢？
   

要了解氯氣和氬氣電漿，咱們先來了解什么是電漿？等離子體（Plasma）是一種由自由電子和帶電離子為主要成分的物質(zhì)形態(tài)，廣泛存在于宇宙中，也是宇宙中豐度最高的物質(zhì)形態(tài)，常被視為是物質(zhì)的第四態(tài)，被稱為等離子態(tài)，或許“超氣態(tài)”，也稱“電漿體”。等離子體和一般氣體的最大區(qū)別是它是一種電離氣體。由于存在帶負(fù)電的自由電子和帶正電的離子，有很高的電導(dǎo)率，和電磁場的耦合作用也極強：帶電粒子能夠同電場耦合，帶電粒子流能夠和磁場耦合。
   

科學(xué)家將高純氯氣和高純氬氣混合，研討氯氣和氬氣電漿在不同氣壓、功率及進(jìn)氣混合比時的改動。研討氯氣和氬氣混合電漿，由于純氯氣電漿在低功率與高功率的電漿特性有顯著不同，所以混合電漿也研討在低功率與高功率時的電漿特性隨混合比的影響。在氯氣和氬氣電漿功率100W，工作氣壓10mTorr，氣體總流量100sccm時，改動Ar/Cl2的進(jìn)氣混合比進(jìn)行模仿，模仿成果發(fā)現(xiàn)參加Ar至氯氣電漿中，要Ar/Cl2的進(jìn)氣混合比約達(dá)80%以上時，Ar+密度才開始大于1%總離子密度，且要混合比達(dá)約97~98%以上時，Ar+的密度才會超越Cl+的密度。氯氣和氬氣吸收功率100W時，電子溫度則會隨混合比添加而從純氯氣時的2.27 eV升至純氬氣時的2.30 eV，電子溫度上升較不顯著，并且Ar混合比在80-90%之間時，電子溫度會先下降，然后再持續(xù)上升；Ar混合比于60%時，及Cl總和之分壓約5 mTorr，可發(fā)現(xiàn)Ar混合比于0~60%所表現(xiàn)的性質(zhì)類似于純氯氣電漿于電漿吸收功率100 W、操作氣壓從10至5 mTorr所表現(xiàn)的改動特性。氯氣和氬氣電漿吸收功率600 W時，Cl粒子空間均勻密度一開始就比 粒子空間均勻密度高；而模仿成果顯現(xiàn)參加Ar量不多時，簡直不會影響氯氣電漿的特性，這是由于Ar的游離反響系數(shù)比Cl小很多，必須參加適當(dāng)多量的Ar時，才會有較多的Ar發(fā)生并改動電漿特性。