首先,因?yàn)楹さ耐鈱与娮邮?,氦只有一層電子,第一層電子是2,這意味著獲得了穩(wěn)定的結(jié)構(gòu),因此氦的化學(xué)性質(zhì)相對(duì)穩(wěn)定,不容易反應(yīng)和爆炸。氦在一些有價(jià)值的設(shè)備中用作檢測(cè)氣體,如飛機(jī)和航天器。然而,氦在自然界的儲(chǔ)量很少,價(jià)格也相對(duì)昂貴。因此,為了節(jié)約成本,一些公司選擇氫氣和氮?dú)獾幕旌衔镒鳛闄z漏氣體或直接使用氮?dú)庾鳛闄z漏氣體。
半導(dǎo)體中的氦泄漏檢測(cè)
為了防止半導(dǎo)體器件、集成電路和其他組件的表面因廢水和蒸汽等雜質(zhì)而性能下降,外殼必須密封。但由于各種原因,管殼或引線接頭的密封部位經(jīng)常出現(xiàn)肉眼難以發(fā)現(xiàn)的小孔。因此,一旦包裝好組件,就必須采取一些方法來檢測(cè)這些小孔的存在。氦檢漏就是用氦來檢查電子元件包裝上的小孔。由于氦原子的尺寸很小,很容易穿過小孔進(jìn)入管殼內(nèi)部。因此,這種檢測(cè)方法可以檢測(cè)到非常小的小孔(也就是說,它可以檢測(cè)到漏氣量約為10?11~10?12 cm3/sec的小孔)。靈敏度與檢測(cè)放射性泄漏的方法相當(dāng),但比檢測(cè)放射性泄漏的方法簡(jiǎn)單。
氦氣檢漏方法:首先將封裝好的組件放在充滿
氦氣的容器中,按壓,讓氦氣通過小孔進(jìn)入管殼;然后取出,用壓縮空氣吹凈管殼表面殘留的氦氣;然后使用質(zhì)譜儀檢測(cè)管殼表面的氦泄漏。