1.高純度散裝氣體管道氦氣檢漏方法應采用向內(nèi)檢漏法、閥座檢漏法和向外檢漏法。
2.向內(nèi)檢漏法(氦氣注入法)是通過內(nèi)部吸入高純度氣體管線,外部噴射氦氣來進行的。
3.檢測閥座泄漏的方法必須在閥門前充入氦氣,并在下游抽真空。
4.必須使用朝外檢漏法(吸槍法)在高純度氣體管線內(nèi)填充氦氣或氦氮混合物,并使用外部吸槍檢查可能的泄漏點。
5.氦檢漏儀必須是質(zhì)譜氦檢漏器,檢測精度不低于1
6.高純氣體氦氣檢漏的泄漏率應符合下列要求:
6.1通過向內(nèi)泄漏檢測方法測得的泄漏率不得超過1.10-9 mbar l/s;
6.2閥座泄漏檢測法測得的泄漏率不得超過1.10-6mbar l/s;
6.3向外泄漏檢測法測得的泄漏率不得超過1.10-6mbar l/s
7.氦檢漏發(fā)現(xiàn)的泄漏點修復后,必須重新進行氣密性試驗,合格后,再按規(guī)定進行氦檢漏。
8.所有可能的泄漏應使用塑料袋進行隔熱。
9.系統(tǒng)測試后,用高純度氮氣或
10.檢查后,應提交試驗報告。