1.高純度散裝氣體管道氦氣檢漏方法應(yīng)采用向內(nèi)檢漏法、閥座檢漏法和向外檢漏法。

2.向內(nèi)檢漏法（氦氣注入法）是通過(guò)內(nèi)部吸入高純度氣體管線，外部噴射氦氣來(lái)進(jìn)行的。

3.檢測(cè)閥座泄漏的方法必須在閥門(mén)前充入氦氣，并在下游抽真空。

4.必須使用朝外檢漏法（吸槍法）在高純度氣體管線內(nèi)填充氦氣或氦氮混合物，并使用外部吸槍檢查可能的泄漏點(diǎn)。

5.氦檢漏儀必須是質(zhì)譜氦檢漏器，檢測(cè)精度不低于1

6.高純氣體氦氣檢漏的泄漏率應(yīng)符合下列要求：

6.1通過(guò)向內(nèi)泄漏檢測(cè)方法測(cè)得的泄漏率不得超過(guò)1.10-9 mbar l/s；

6.2閥座泄漏檢測(cè)法測(cè)得的泄漏率不得超過(guò)1.10-6mbar l/s；

6.3向外泄漏檢測(cè)法測(cè)得的泄漏率不得超過(guò)1.10-6mbar l/s

7.氦檢漏發(fā)現(xiàn)的泄漏點(diǎn)修復(fù)后，必須重新進(jìn)行氣密性試驗(yàn)，合格后，再按規(guī)定進(jìn)行氦檢漏。

8.所有可能的泄漏應(yīng)使用塑料袋進(jìn)行隔熱。

9.系統(tǒng)測(cè)試后，用高純度氮?dú)饣?typo id="typo-413" data-origin="氬氣" ignoretag="true">氬氣填充和清潔。

10.檢查后，應(yīng)提交試驗(yàn)報(bào)告。