SF6因其具有良好的絕緣和滅弧性能，在電力行業(yè)中得到了廣泛應(yīng)用。電氣設(shè)備在維護(hù)、檢修和退役時(shí)會產(chǎn)生大量的SF6廢氣，但由于SF6氣體化學(xué)性質(zhì)穩(wěn)定，極難分解，具有高溫室效應(yīng)潛在值（GWP）而被列為溫室氣體行列，SF6廢氣的處理對保護(hù)環(huán)境具有長遠(yuǎn)意義。等離子體法是利用等離子體中的有效活性物質(zhì)與SF6發(fā)生反應(yīng)，使其在短時(shí)間內(nèi)發(fā)生分解，是目前比較流行的一種降解方式。介質(zhì)阻擋放電（DBD）等離子體作為一種低溫等離子體，實(shí)驗(yàn)設(shè)備和放電所需條件相對簡單，易于控制，操作安全可靠等一系列優(yōu)點(diǎn)使其廣泛應(yīng)用于處理揮發(fā)性有機(jī)物廢氣。
DBD等離子體反應(yīng)器對體積分?jǐn)?shù)為2%的
sf6進(jìn)行流動降解處理，分別分析了加H2O和O2對SF6降解效率和降解產(chǎn)物的影響。在單獨(dú)加H2O或O2或兩者都加時(shí)均能極大提高SF6的降解率，使2%的高濃度SF6降解率從60%提高到96%以上；在添加0.5%的H2O和2%的O2協(xié)同作用下，在50mL/min的體積流量下SF6降解率達(dá)到了98.2%。通過GC-MS和FTIR檢測結(jié)果顯示H2O的參與使SF6降解過程中傾向于生成SO2，O2的參與使SF6降解過程中傾向于生成SO2F2。
圖1 不同條件下SF6的降解率
圖2 不同條件下SF6降解后的主要產(chǎn)物濃度
基于DBD等離子體技術(shù)對高濃度SF6進(jìn)行了高效降解，通過添加H2O和O2使SF6降解率在98%以上，并通過產(chǎn)物分析發(fā)現(xiàn)H2O和O2可以對降解后的主要副產(chǎn)物進(jìn)行選擇，為調(diào)節(jié)降解產(chǎn)物提供了研究方向。
后續(xù)的研究將圍繞
sf6降解產(chǎn)物調(diào)控和產(chǎn)物無害化兩個方向進(jìn)行研究，實(shí)現(xiàn)SF6的高效無害化降解。
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