今日,國內(nèi)硅烷氣項目建設有了新的進展。目前,年產(chǎn)3000噸硅烷氣項目二期工程已與6月25號試車投產(chǎn),運行平穩(wěn)且達產(chǎn)達標,產(chǎn)品純度已達99.999999%,主要經(jīng)濟指標接近或達到國外同類產(chǎn)品指標要求。
該項目的建成達產(chǎn)標志著我國高純度硅烷大規(guī)模生產(chǎn)技術(shù)獲得突破,結(jié)束了國內(nèi)高純度硅烷產(chǎn)品全部依靠進口的歷史。
該項目采用硅烷法實現(xiàn)高純度硅烷氣的工業(yè)化生產(chǎn),解決了國外鎂硅法、氟硅法等傳統(tǒng)硅烷氣技術(shù)難以大規(guī)模生產(chǎn)以及成本高、排放大等難題,生產(chǎn)成本較國際同類產(chǎn)品低30%以上。
從2014年10月,一期工程年產(chǎn)600噸硅烷氣的生產(chǎn)線成功投產(chǎn),硅烷氣純度達8N級,隨后,二期工程年產(chǎn)3000噸硅烷氣項目與2016年7月開工建設,下一步將建設三期工程年產(chǎn)1.5萬噸高純硅烷氣。