1.電子氣體污染的控制要求越來越嚴(yán)格：隨著電子消費(fèi)品的升級(jí)，產(chǎn)

品的制造規(guī)模越來越大，對(duì)產(chǎn)品成品率和缺陷的控制越來越嚴(yán)格。整

個(gè)電子工業(yè)對(duì)電子氣源的純度和消除傳輸系統(tǒng)中的二次污染的要求越

來越嚴(yán)格。原則上，行業(yè)提出的電子氣體污染和顆粒尺寸的技術(shù)指標(biāo)

與分析設(shè)備技術(shù)進(jìn)步導(dǎo)致的檢測限（LDL）直接相關(guān)。例如，傳統(tǒng)的

激光顆粒測試儀可以測量0.1μm，而核心凝固技術(shù)（CNC）可以達(dá)到

0.01μm。

2、流量大，輸送連續(xù)穩(wěn)定：電子氣傾向于集中供應(yīng)，特殊氣體放在氣

室中。根據(jù)機(jī)器的流量要求合理配置輸送系統(tǒng)的數(shù)量。專用輸氣設(shè)備必

須采用全自動(dòng)切換供氣，并設(shè)計(jì)更多備用設(shè)備。對(duì)于低蒸氣壓氣體

（WF6、DCS、BCl3、C5F8、ClF3等），有必要進(jìn)行氣缸加熱、氣板

加熱、管道跟蹤等。高精度壓力變送器、電子天平、溫度控制器等。在

空氣源的末端。機(jī)器的氣體消耗點(diǎn)也配有質(zhì)量流量計(jì)。

3.安全性越來越嚴(yán)格：電子氣體可能具有窒息性、腐蝕性、毒性、易燃

性、爆炸性等危害，其危害性已被不同國家、地區(qū)和行業(yè)組織詳細(xì)分類。

對(duì)于一家大規(guī)模生產(chǎn)的電子工廠來說，其使用和儲(chǔ)存的電子氣體數(shù)量可

以毫不夸張地被視為“大規(guī)模殺傷性武器庫”。規(guī)劃、施工和日常運(yùn)營中

的任何潛在安全風(fēng)險(xiǎn)都會(huì)對(duì)工廠、人員和環(huán)境造成重大災(zāi)難。

4.建設(shè)成本日益下降：隨著電子行業(yè)投資規(guī)模的增加，縮短建設(shè)時(shí)間和

降低建設(shè)成本變得越來越重要。對(duì)于電子氣體傳輸系統(tǒng)來說，在不降低

系統(tǒng)污染水平和犧牲安全配置的情況下降低建設(shè)和運(yùn)營成本也是一個(gè)挑戰(zhàn)。