2018年全球集成電路用電子氣體的市場(chǎng)規(guī)模達(dá)到45.12億美元，同比增長(zhǎng)16%，半導(dǎo)體用電子特氣行業(yè)增速高，龐大的市場(chǎng)規(guī)模，讓電子特氣的國(guó)產(chǎn)替代計(jì)劃全面加速！
電子氣體指的是用于半導(dǎo)體、平板顯示、發(fā)光二極管、太陽(yáng)能電池及其它電子產(chǎn)品生產(chǎn)的基礎(chǔ)性源材料，被廣泛的應(yīng)用于清洗、刻蝕、成膜、摻雜等工藝。電子氣體的主要應(yīng)用范圍包括電子行業(yè)、太陽(yáng)能電池、移動(dòng)通訊、汽車導(dǎo)航及車載音像系統(tǒng)、航空航天、軍事工業(yè)等諸多領(lǐng)域。
電子特氣按其本身化學(xué)成分可分為：硅系、砷系、磷系、硼系、金屬氫化物、鹵化物和金屬烴化物七類。按在集成電路中不同應(yīng)用途徑可分為摻雜用氣體、外延用氣體、離子注入氣、發(fā)光二極管用氣、刻蝕用氣體、化學(xué)氣相沉積氣和平衡氣。在半導(dǎo)體工業(yè)中應(yīng)用的有110余種單元特種氣體，其中常用的有超過(guò)30種。
通常半導(dǎo)體生產(chǎn)行業(yè)，將氣體劃分成常用氣體和特殊氣體兩類。其中，常用氣體指集中供給而且使用非常多的氣體，比如 N2、H2、O2、Ar、He 等。特種氣體指半導(dǎo)體生產(chǎn)環(huán)節(jié)中，比如延伸、離子注進(jìn)、摻和、洗滌、遮掩膜形成過(guò)程中使用到一些化學(xué)氣體，也就是我們現(xiàn)在所說(shuō)的電子特氣，比如高純度的 SiH4、PH3、AsH3、B2H6、N2O、NH3、SF6、NF3、CF4、BCl3、BF3、HCl、Cl2等
在整個(gè)半導(dǎo)體行業(yè)的生產(chǎn)過(guò)程中，從芯片生長(zhǎng)到最后器件的封裝，幾乎每一個(gè)環(huán)節(jié)都離不開電子特氣，而且所用氣體的品種多、質(zhì)量要求高，所以電子氣體又有半導(dǎo)體材料的“糧食”之稱。
近年來(lái)，中國(guó)半導(dǎo)體、顯示面板等主要電子元器件的新增產(chǎn)能較多，以及電子化工材料的進(jìn)口替代需求強(qiáng)烈，電子氣體在半導(dǎo)體行業(yè)中的地位日益凸顯。國(guó)內(nèi)電子氣體行業(yè)將迎來(lái)高速增長(zhǎng)。
電子特氣對(duì)純度的要求很高，因?yàn)榧兌热绻麤](méi)有達(dá)到要求的話，電子特氣中水汽、氧等雜質(zhì)組就容易使半導(dǎo)體表面生成氧化膜，影響電子器件的使用壽命，而電子特氣中含有的顆粒雜質(zhì)會(huì)造成半導(dǎo)體短路及線路損壞?？梢哉f(shuō)純度的提高，對(duì)電子器件生產(chǎn)的良率和性能起到了至關(guān)重要的作用。
伴隨半導(dǎo)體工業(yè)的不斷發(fā)展，芯片制程不斷提高，如今已經(jīng)做到了5nm，快要逼近摩爾定律的極限，,相當(dāng)于頭發(fā)絲直徑(約為0.1毫米)的二萬(wàn)分之一。所以這也對(duì)半導(dǎo)體生產(chǎn)的電子特氣純度亦提出了更高的要求。
電子特氣純度提升的影響因素主要包括“氣體的分離和提純”、“氣體雜質(zhì)檢測(cè)和監(jiān)控”、“氣體的運(yùn)輸和儲(chǔ)存”三個(gè)方面，以“氣體的運(yùn)輸和儲(chǔ)存”為例，高純特氣在儲(chǔ)存和運(yùn)輸過(guò)程中要求使用高質(zhì)量的氣體包裝儲(chǔ)運(yùn)容器、以及相應(yīng)的氣體輸送管線、閥門和接口，確保避免二次污染，而且一些電子特氣還具有自燃性、腐蝕性、毒性等，所以運(yùn)輸和存儲(chǔ)都要特別小心。
國(guó)家目前也開始對(duì)電子特氣領(lǐng)域進(jìn)行投資扶持，可以說(shuō)隨著中國(guó)對(duì)半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)的不斷重視，國(guó)產(chǎn)全面替代計(jì)劃終會(huì)成功！
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