氖的化學符號是Ne，它的原子序數(shù)是10，是一種無色的稀有氣體，把它放電時呈橙紅色。氖最常用在霓紅燈之中?？諝庵泻猩倭磕省ＭǔＤ士梢宰鳛椴噬藓鐭舻某溲b氣體用于戶外廣告顯示；此外，它還可用于可視發(fā)光指示燈、電壓調(diào)節(jié)，以及激光混合氣成份。由于氖氣的化學特性，是的氖氣在微電漿元件方面也大放異彩。進來有科學家研究了氬氣/氖氣操作對微電漿元件的特性影響。

  微電漿元件的研究近來提供了許多相當引人注目的特性與可能的應(yīng)用。微電漿元件科技是結(jié)合電漿科學，光電科學與材料科學的一個新領(lǐng)域，并提供了電漿科學一個新發(fā)展空間。專門提供探討微電漿科技的研討會(IWM, International Workshop on Microplasmas)也在近年發(fā)展并漸有規(guī)模。目前在發(fā)展微電漿元件上有兩個主要的方向: (1)觀察電漿在微米尺寸與奈米尺寸之下的物理現(xiàn)象與光電特性，(2)發(fā)展不同結(jié)構(gòu)與材料來使得微電漿可以與光電科技等不同領(lǐng)域作整合應(yīng)用。

  科學家為大家?guī)砑舛穗姌O增強型微電漿元件在氬氣/氖氣操作環(huán)境下的特性研究成果。在微電漿元件中採用尖端是希望利用其提升局部電場強化，進一步降低電漿崩解電壓。實驗包含建構(gòu)一高真空系統(tǒng)以提供電漿操作環(huán)境、元件製程、量測電性與光學影像。經(jīng)由實驗結(jié)果，穩(wěn)定電壓電流特性、低操作電壓、大驅(qū)動裕度(Margin)、穩(wěn)定輝光放電現(xiàn)象均可以由本研究之微電漿元件得到。本論文中所得到的元件特性展現(xiàn)尖端電極增強型微電漿元件與其他領(lǐng)域整合應(yīng)用的充分潛力。

  化學小常識：

  氖是第二輕的稀有氣體，在放電管里它發(fā)紅色-橙色的光。氖的制冷量比液氦高40倍，比液氫高三倍。對比起氦來在大多數(shù)情況下它是一種比較廉價的冷卻液。在所有稀有氣體中氖的放電在同樣電壓和電流情況下是最強烈的。

  氬，是一種稀有氣體。無論是氣態(tài)還是液態(tài)，都是無色、無味而且無毒。它在水中的溶解度比氮多出了2.5倍。氬氣最主要的用處就是它的惰性，可以保護一些容易與周遭物質(zhì)發(fā)生反應(yīng)的東西。雖然其他的惰性氣體也有這些特性，但是氬氣在空氣中的含量最多，也是最容易取得，因此相對就比較便宜，具有經(jīng)濟效益。