國產氖氣崛起：助力中國半導體產業(yè)自主可控  

湖北紐瑞德（湖北紐瑞德電子氣體有限公司）作為中國電子特種氣體領域的重要企業(yè)，其霓虹燈

（Ne）該產品在半導體、光電顯示、激光技術等高端制造領域具有關鍵應用。以下是其主要應用場

景和行業(yè)背景分析：

1. 半導體光刻工藝

•準分子激光氣體：準分子激光氣體：霓虹氣體為深紫外線（DUV）光刻機中使用的KRF(氟化氪)和

 ArF(氟化氬)準分子激光器的核心混合氣體成分(約95%)直接影響激光波長的穩(wěn)定性和芯片工藝的精度。

•國內替代需求：隨著美國對中國半導體設備出口限制的加劇，國內半導體制造商（如中芯國際和長

江存儲）加快了供應鏈的本土化，高純度霓虹燈已成為關鍵的“頸部”材料之一。紐瑞德等企業(yè)通過提

高純度（6N級以上）和技術認證逐步取代進口。

2. 制造顯示面板

•等離子體蝕刻與清洗：OLED、在LCD面板生產中，霓虹燈用于等離子體蝕刻工藝，保證了顯示電

路的高精度加工。

•國產化替代:烏克蘭曾經(jīng)是全球70%霓虹燈的供應地，俄烏沖突導致價格飆升(2022年漲幅達到600%)。

紐瑞德通過空分廢氣提取技術(從鋼鐵廠空分裝置回收霓虹、氪、氙)，減少了對進口的依賴。

•半導體級霓虹燈需要超過8N級純度（林德、普萊克斯等國際領先企業(yè)已經(jīng)實現(xiàn)），國內企業(yè)仍需要

提高純化過程的穩(wěn)定性。

湖北紐瑞德的霓虹燈產品在半導體光刻、顯示面板等領域的國內替代中發(fā)揮著重要作用。其技術突破

和供應鏈布局對確保中國高端制造業(yè)的安全至關重要。未來，我們需要繼續(xù)關注其純度的提高、國際

合作（如與ASML供應商的認證）和新興市場的發(fā)展和進展。

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