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氫氮混合氣在電子器件中應(yīng)用
在電子器件生產(chǎn)工藝中．廣泛使用了各種高純氣體．按工藝中高純度氣體的不同用途，可將其分為保護(hù)氣、反應(yīng)氣和載氣. 用作保護(hù)氣的有氫氣、氮?dú)?、氧氣及其混合氣．在?guó)內(nèi)為獲取氫氣和氨氣，為獲得較高純度的氫氣，一般都采用電解純水的方法制取．這種方法需用大量電能來電解水，一般達(dá)4.5~ 5.5kWh /Nm3H2，致使成本很高. 為減少電能消耗，降低成本，都在研制和應(yīng)用各種混合氣．其中，以應(yīng)用氮－氫混合氣為最多．國(guó)外多采用液態(tài)氫和液態(tài)氮汽化法獲得氮?dú)浠?/div> 更多 +相關(guān)搜索
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