在電子器件生產(chǎn)工藝中．廣泛使用了各種高純氣體．按工藝中高純度氣體的不同用途，可將其分為保護(hù)氣、反應(yīng)氣和載氣.

  用作保護(hù)氣的有氫氣、氮?dú)?、氧氣及其混合氣．在國?nèi)為獲取氫氣和氨氣，為獲得較高純度的氫氣，一般都采用電解純水的方法制?。@種方法需用大量電能來電解水，一般達(dá)4.5~ 5.5kWh /Nm3H2，致使成本很高.

  為減少電能消耗，降低成本，都在研制和應(yīng)用各種混合氣．其中，以應(yīng)用氮－氫混合氣為最多．國外多采用液態(tài)氫和液態(tài)氮汽化法獲得氮?dú)浠旌蠚猓?也有采用液氮分解法獲得氮?dú)浠旌蠚獾模?/p>

  用液氫和液氮汽化來獲得氮氧混合氣的方法，由于采用了液化后再汽化的工藝，故其投資和成本均較高． 國外，由于生產(chǎn)的專業(yè)化程度高，使用單位多采用這種方法獲得混合氣． 國內(nèi)若從專業(yè)廠或大型聯(lián)合企業(yè)的副產(chǎn)物獲得液氫和液氮，其成本要比電解氫和“空分”氮獲得的氫氣與氯氣高出幾倍．由液氨分解獲得的氮氧混合氣，由于液氮來源不同，大多數(shù)質(zhì)量較差，其中仍含有未分解的氨、水和氧等雜質(zhì)．此外，液氮多來源于化肥廠，目前，供應(yīng)上較緊張，故成本也較高．

  氮?dú)浠旌蠚獠粌H可在生產(chǎn)電子器件時(shí)取代氧氣用作保護(hù)氣，還可廣泛用于冶金、化工、機(jī)械等行業(yè)． 一旦廣泛推廣應(yīng)用，必將產(chǎn)生可觀的經(jīng)濟(jì)效益和社會(huì)效益．

  一、氫氮混合配氣工作原理； 

　　本裝置以含氫75％、氮25％的氫氮混合氣為原料，通過調(diào)節(jié)閥調(diào)節(jié)，加入純氮?dú)庵?，獲得穩(wěn)定的具有一定比例的氫氮混合氣。在按需調(diào)準(zhǔn)。 

  二、氫氮混合配氣設(shè)備主要組成及功能； 

　　1、調(diào)節(jié)閥； 

　　2、氫分儀； 

　　3、智能顯示調(diào)節(jié)儀； 

　　4、電氣轉(zhuǎn)換器； 

　　5、過濾減壓器； 

　　6、混合罐； 

　　7、配比流量計(jì) 

  三、氫氮混合配氣工藝流程； 

　　原氫氮混合氣經(jīng)閥，調(diào)節(jié)閥調(diào)節(jié)加入純氮?dú)庵?，配比氣?jīng)混合罐混合，混合后的配比氣經(jīng)氫分儀分析，顯示氫的百分比含量，氫分儀把氫的百分比含量轉(zhuǎn)換成4-20mA的電流信號，智能顯示調(diào)節(jié)儀把氫分儀的電流信號與設(shè)定值相比較計(jì)算，計(jì)算結(jié)果轉(zhuǎn)換成4-20mA的電流信號驅(qū)動(dòng)電氣轉(zhuǎn)換器，轉(zhuǎn)換成氣壓信號，調(diào)節(jié)閥閥芯的行程和氣壓信號成正比，從而達(dá)到調(diào)節(jié)混合比例的功能。