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國(guó)內(nèi)高純硅烷灌裝流程
高純硅烷灌裝前,首先利用高純氮?dú)?、氦氣?duì)系統(tǒng)進(jìn)行高壓檢漏,真空置換。然后分析氣源,氣瓶是否合格,待一切準(zhǔn)備就緒后,生產(chǎn)儲(chǔ)罐輸送來(lái)的高純硅烷氣經(jīng)壓縮機(jī)增壓后通過(guò)灌裝控制面板充入已準(zhǔn)備就緒的容器中,完成灌裝后,系統(tǒng)自動(dòng)切斷。隨后更換下一批容器進(jìn)行灌裝。如果灌裝時(shí)間間隔較長(zhǎng),灌裝完成后,應(yīng)對(duì)系統(tǒng)進(jìn)行減壓、置換,不可使系統(tǒng)中長(zhǎng)期存有硅烷。 硅烷灌裝示意流程見(jiàn)下圖更多 +
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硅烷項(xiàng)目新進(jìn)展
今日,國(guó)內(nèi)硅烷氣項(xiàng)目建設(shè)有了新的進(jìn)展。目前,年產(chǎn)3000噸硅烷氣項(xiàng)目二期工程已與6月25號(hào)試車投產(chǎn),運(yùn)行平穩(wěn)且達(dá)產(chǎn)達(dá)標(biāo),產(chǎn)品純度已達(dá)99.999999%,主要經(jīng)濟(jì)指標(biāo)接近或達(dá)到國(guó)外同類產(chǎn)品指標(biāo)要求。 該項(xiàng)目的建成達(dá)產(chǎn)標(biāo)志著我國(guó)高純度硅烷大規(guī)模生產(chǎn)技術(shù)獲得突破,結(jié)束了國(guó)內(nèi)高純度硅烷產(chǎn)品全部依靠進(jìn)口的歷史。 該項(xiàng)目采用硅烷法實(shí)現(xiàn)高純度硅烷氣的工業(yè)化生產(chǎn),解決了國(guó)外鎂硅法、氟硅法等傳統(tǒng)硅烷氣技術(shù)難以大規(guī)模生產(chǎn)以及成本高、排放大等難題,生產(chǎn)成本較國(guó)際同類產(chǎn)品低30%以上。更多 +
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