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國內(nèi)高純硅烷灌裝流程
高純硅烷灌裝前，首先利用高純氮氣、氦氣對系統(tǒng)進行高壓檢漏，真空置換。然后分析氣源，氣瓶是否合格，待一切準備就緒后，生產(chǎn)儲罐輸送來的高純硅烷氣經(jīng)壓縮機增壓后通過灌裝控制面板充入已準備就緒的容器中，完成灌裝后，系統(tǒng)自動切斷。隨后更換下一批容器進行灌裝。如果灌裝時間間隔較長，灌裝完成后，應對系統(tǒng)進行減壓、置換，不可使系統(tǒng)中長期存有硅烷。 硅烷灌裝示意流程見下圖更多 +
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硅烷項目新進展
今日，國內(nèi)硅烷氣項目建設(shè)有了新的進展。目前，年產(chǎn)3000噸硅烷氣項目二期工程已與6月25號試車投產(chǎn)，運行平穩(wěn)且達產(chǎn)達標，產(chǎn)品純度已達99.999999%，主要經(jīng)濟指標接近或達到國外同類產(chǎn)品指標要求。 該項目的建成達產(chǎn)標志著我國高純度硅烷大規(guī)模生產(chǎn)技術(shù)獲得突破，結(jié)束了國內(nèi)高純度硅烷產(chǎn)品全部依靠進口的歷史。 該項目采用硅烷法實現(xiàn)高純度硅烷氣的工業(yè)化生產(chǎn)，解決了國外鎂硅法、氟硅法等傳統(tǒng)硅烷氣技術(shù)難以大規(guī)模生產(chǎn)以及成本高、排放大等難題，生產(chǎn)成本較國際同類產(chǎn)品低30%以上。更多 +
