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電子特種氣體是特種氣體的一個(gè)重要分支
特種電子氣體(以下簡(jiǎn)稱(chēng)特種電子氣體)是特種氣體的一個(gè)重要分支,是集成電路(IC)、平面顯示設(shè)備(LCD、LED、OLED)、太陽(yáng)能電池等電子工業(yè)生產(chǎn)不可或缺的原材料。 電子氣體廣泛應(yīng)用于電子產(chǎn)品的工藝,如離子注入、蝕刻、氣相沉積、摻雜等。電子半導(dǎo)體器件的性能與電子氣體的質(zhì)量密切相關(guān)。 產(chǎn)業(yè)鏈上下游 工業(yè)氣體工業(yè)的原料是空氣、工業(yè)廢氣、基礎(chǔ)化學(xué)原料等。其上游產(chǎn)業(yè)為氣體分離和清潔設(shè)備、基礎(chǔ)化學(xué)原料工業(yè)、壓力容器設(shè)備等。下游領(lǐng)域包括集成電路、液晶面板、LED、光纖通信、光伏、醫(yī)療健康、節(jié)能環(huán)保、新材料、更多 +
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電子氣體是什么?
電子氣體是指用于半導(dǎo)體及其他電子產(chǎn)品生產(chǎn)的氣體,與傳統(tǒng)的工業(yè)氣體相比,電子氣體特殊,在氣體的純凈度要求極高,所以也被稱(chēng)為電子特種氣體,廣泛應(yīng)用于集成電路顯示面板、光伏能源、光纖光纜、新能源汽車(chē)、環(huán)保醫(yī)療等領(lǐng)域。 國(guó)內(nèi)特種氣體于20世紀(jì)80年代隨著國(guó)內(nèi)電子行業(yè)的興起而逐步發(fā)展,隨著技術(shù)的逐步突破,國(guó)內(nèi)氣體公司在電光源、氣體、激光氣體、消毒氣體等領(lǐng)域發(fā)展迅速,但與國(guó)外氣體公司相比,大部分國(guó)內(nèi)氣體公司的供應(yīng)產(chǎn)品仍然較為單一。尤其是在集成電路顯示面板、光伏能更多 +
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氦氣,氮?dú)猓瘹鈱儆谔胤N氣體嗎?
電子氣體是指用于半導(dǎo)體及其他電子產(chǎn)品生產(chǎn)的氣體,與傳統(tǒng)的工業(yè)氣體相比,電子氣體特殊,在氣體的純凈度要求極高,所以也被稱(chēng)為電子特種氣體,廣泛應(yīng)用于集成電路顯示面板、光伏能源、光纖光纜、新能源汽車(chē)、環(huán)保醫(yī)療等領(lǐng)域。 國(guó)內(nèi)特種氣體于20世紀(jì)80年代隨著國(guó)內(nèi)電子行業(yè)的興起而逐步發(fā)展,隨著技術(shù)的逐步突破,國(guó)內(nèi)氣體公司在電光源、氣體、激光氣體、消毒氣體等領(lǐng)域發(fā)展迅速,但與國(guó)外氣體公司相比,大部分國(guó)內(nèi)氣體公司的供應(yīng)產(chǎn)品仍然較為單一。尤其是在集成電路顯示面板、光伏能源、光纖光纜等高更多 +
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半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)鏈之電子特種氣體行業(yè)深度研究:四氟甲烷
四氟甲烷(CF4)是目前微電子工業(yè)中用量最大的等離子蝕刻氣體,廣泛用于硅、二氧化硅、氮化硅和磷硅玻 璃等材料的蝕刻,在電子器件表面清洗、太陽(yáng)能電池的生產(chǎn)、激光技術(shù)、低溫制冷、氣體絕緣、泄漏檢測(cè)劑、 控制宇宙火箭姿態(tài)、印刷電路生產(chǎn)中的去污劑、潤(rùn)滑劑及制動(dòng)液等方面也有大量應(yīng)用。由于它的化學(xué)穩(wěn)定性極 強(qiáng),CF4 還可用于金屬冶煉和塑料行業(yè)等。當(dāng)今超大規(guī)模集成電路所用電子氣體的特點(diǎn)和發(fā)展趨勢(shì)是超純、超 凈和多品種、多規(guī)模,各國(guó)為推動(dòng)本國(guó)微電子工業(yè)的發(fā)展,越來(lái)越重視發(fā)展特種電子氣體的生產(chǎn)技術(shù)。就目前 而言,CF4更多 +
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特種氣體的應(yīng)用
電子工業(yè)是當(dāng)今推動(dòng)科技發(fā)展的高新技術(shù)產(chǎn)業(yè),由于所用氣體的品種多、質(zhì)量要求高,為有別于其它領(lǐng)域應(yīng)用的氣體,人們把這類(lèi)在電子工業(yè)中用的氣體統(tǒng)稱(chēng)為電子特種氣體,它是當(dāng)今興起的高技術(shù)含量、高投入、高附加值的高新技術(shù)產(chǎn)業(yè)。 電子行業(yè)常用的特氣超過(guò)三十余種,按危險(xiǎn)性質(zhì)可分為不燃?xì)怏w、可燃?xì)怏w、氧化性氣體、腐蝕性氣體、毒性氣體等。按照物理形態(tài)可分為壓縮氣體、液化氣體和低溫氣體。 特種氣體的應(yīng)用領(lǐng)域主要在集成電路制造、太陽(yáng)能電池、化合物半導(dǎo)體、液晶顯示器、光纖生產(chǎn)四大領(lǐng)域,其中主要應(yīng)更多 +
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電子特種氣體供需問(wèn)題亟待通過(guò)回收再利用技術(shù)解決
面對(duì)半導(dǎo)體制造過(guò)程中特種氣體使用量持續(xù)增大帶來(lái)的溫室氣體排放問(wèn)題和地緣政治問(wèn)題引起的特殊氣體供求問(wèn)題,韓國(guó)專(zhuān)家專(zhuān)家提出了發(fā)展特種氣體再利用技術(shù)的解決方案。 近年來(lái),隨著半導(dǎo)體及顯示器產(chǎn)業(yè)的高速發(fā)展,特種氣體的使用量和排放量急劇增加,因此抑制該領(lǐng)域溫室氣體排放已經(jīng)成為當(dāng)務(wù)之急。在半導(dǎo)體材料·特種氣體研討會(huì)上,韓國(guó)代表就“半導(dǎo)體氣體Recycling技術(shù)和局限性”進(jìn)行了專(zhuān)題研討。他認(rèn)為,由于各國(guó)之間的貿(mào)易爭(zhēng)端,氦、氖、氪、氙等稀有氣體的回收和再利用刻不容緩。目前半導(dǎo)體更多 +
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三氟化氮價(jià)格會(huì)持續(xù)上漲么?
三氟化氮是電子特種氣體中需求量最大的氣體,是半導(dǎo)體、顯示器、太陽(yáng)能電池產(chǎn)業(yè)生產(chǎn)制造的必備材料。近年來(lái),隨著半導(dǎo)體和新型顯示器市場(chǎng)的發(fā)展,三氟化氮的需求不斷增加,主要生產(chǎn)企業(yè)在近幾年內(nèi)大規(guī)模擴(kuò)建,世界范圍內(nèi)三氟化氮的產(chǎn)量也有所上升。雖然這樣,9月份以來(lái),三氟化氮市場(chǎng)仍出現(xiàn)了“缺貨”現(xiàn)象,主要是因?yàn)槭袌?chǎng)供應(yīng)跟不上需求量。 隨著半導(dǎo)體超大規(guī)模集成線(xiàn)路芯片超微化和OLED等新型顯示技術(shù)的發(fā)展,NF3市場(chǎng)需求量也一直呈爆發(fā)式增長(zhǎng),三氟化氮未來(lái)五年年均復(fù)合增長(zhǎng)率近10%。更多 +
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三氟化氮等電子特種氣體國(guó)標(biāo)修訂
近日,國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)化管理委員會(huì)經(jīng)研究決定下達(dá)2020年推薦性國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)計(jì)劃(修訂)的通知。本批計(jì)劃共471項(xiàng),其中涉及氣瓶和電子特氣修訂標(biāo)準(zhǔn)共計(jì)5項(xiàng),全部為推薦性國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)修訂計(jì)劃項(xiàng)目。 2020 年推薦性國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)計(jì)劃項(xiàng)目(修訂)包括氣瓶水壓試驗(yàn)方法、氣瓶水壓爆破試驗(yàn)方法、焊接絕熱氣瓶、電子特氣三氯化硼和三氟化氮等標(biāo)準(zhǔn)。其中三氯化硼替代標(biāo)準(zhǔn)號(hào)GB/T 17874-2010,歸口單位是全國(guó)半導(dǎo)體設(shè)備和材料標(biāo)準(zhǔn)化技術(shù)委員會(huì)。由大連科利德化工科技開(kāi)發(fā)有限公司、西南化工研究設(shè)計(jì)院有限公司等起草。三氟化氮替代標(biāo)準(zhǔn)號(hào)更多 +
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電子特氣最全種類(lèi)大全|紐瑞德電子特氣
電子特種氣體是特種氣體的一個(gè)重要分支,是集成電路(IC)、顯示面板(LCD、OLED)、光伏能源、光纖光纜等電子工業(yè)生產(chǎn)中不可或缺的關(guān)鍵性原材料,廣泛應(yīng)用于薄膜、光刻、刻蝕、摻雜、氣相沉積、擴(kuò)散等工藝,其質(zhì)量對(duì)電子元器件的性能有重要影響。 氣體的產(chǎn)品種類(lèi)豐富,電子元器件在其生產(chǎn)過(guò)程中對(duì)氣體產(chǎn)品存在多樣化需求。就集成電路制造過(guò)程中需要的高純特種氣體和混合氣體的種類(lèi)超過(guò) 50 種,且每一種工藝步驟中都會(huì)用到特定的氣體。此外,在顯示面板、LED、太陽(yáng)能電池片等器件的制造中的不同工藝環(huán)節(jié)均更多 +
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顯示屏制造中特種氣體的應(yīng)用
顯示屏是有源矩陣薄膜晶體管(TFT),在二世紀(jì)九十年代開(kāi)始投入民用,到如今已經(jīng)是我們生活中不可或缺的組成部分,它在我們生活中已經(jīng)是隨處可見(jiàn)了,大家天天離不開(kāi)的手機(jī)、電視,馬路上的廣告、標(biāo)牌等等。 顯示屏的制造與半導(dǎo)體器件的制造有許多相似的地方,不僅生產(chǎn)工藝步驟十分相似,而且在制造過(guò)程中都需要使用大量的氣體,使用的氣體類(lèi)型也大都相同。 今天紐小編就和大家一起來(lái)了解一下特種氣體在顯示屏生產(chǎn)中的應(yīng)用。 顯示屏生產(chǎn)中用到氣體主要分為量大類(lèi):電子特種氣體和更多 +
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