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: 晶圓制造之血液

電子氣是半導(dǎo)體工業(yè)的重要原料電子氣體簡(jiǎn)介特種電子氣（簡(jiǎn)稱特種電子氣）是特種氣體的一個(gè)重要分支，是生產(chǎn)集成電路（IC）、平板顯示器（LCD、LED、OLED）、太陽(yáng)能（8.360，-0.12，-1.42%）電池等電子工業(yè)不可或缺的原材料。一般來說，半導(dǎo)體制造業(yè)中的氣體分為普通氣體和特種氣體。其中，常用氣體是指集中供氣并使用多種氣體的氣體，如N2、H2、O2、AR、he等。特殊氣體是指半導(dǎo)體制造中使用的一些化學(xué)氣體，如膨脹、離子注入、混合、清洗、掩蔽，即氣體類別中的電子氣體，如高純度SiH4、P
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: 氮?dú)庠谝苯鸸I(yè)和電子工業(yè)中的應(yīng)用

冶金工業(yè) 在冶金工業(yè)中，氮?dú)庵饕米鞅Ｗo(hù)氣體和吹掃氣體。在軋鋼和金屬熱處理過程中，由于氮的保護(hù)，金屬的高溫氧化減少，表面光滑。向有色金屬熔煉爐中充氮可以降低含氧量和溫度，減少氧化，提高產(chǎn)品純度。用氮?dú)馇逑翠撍?，降低鋼水中的氫含量，提高產(chǎn)品強(qiáng)度。向高爐噴入86%的氮?dú)饪梢越档徒固肯?，延長(zhǎng)使用壽命。向等離子弧爐中充氮可生產(chǎn)氮化高速工具鋼。電子工業(yè) 在電子工業(yè)中，用干燥的氮?dú)獯抵乒杵梢员３止杵稍锖颓鍧崱Ｔ诖笮图呻娐返闹圃熘?，高純氮可用作化學(xué)反應(yīng)氣體的載氣、惰性保護(hù)氣體和封裝氣體。
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: 高純氮?dú)獾慕榻B

氮?dú)? 1.別名·英文名 Nitrogen 2.用途化肥、氨、硝酸等化合物的制造，惰性保護(hù)介質(zhì)，速凍食品、低溫粉碎等的制冷劑、冷卻劑，電子工業(yè)中的外延、擴(kuò)散、化學(xué)氣相淀積、離子注入、等離子干刻、光刻等，還用作標(biāo)準(zhǔn)氣、校正氣、零點(diǎn)氣、平衡氣等。 3.制法 ①空氣分離法 ②氨或亞硝酸銨的分解法：NH4NO2→N2+2H2O ③在銅屑上通過氧化氮 4.理化性質(zhì) 分子量： 28.0134 熔點(diǎn)(三相點(diǎn)，12.53kPa)： -210.0℃ 沸點(diǎn)(101
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: 氦氣應(yīng)用（二）

（1）氦在電子工業(yè)領(lǐng)域發(fā)揮重要作用。在半導(dǎo)體、液晶面板和光纖制造過程中，氦氣在實(shí)現(xiàn)零部件快速冷卻同時(shí)還能控制熱傳遞速率，改善了生產(chǎn)效率并減少了缺陷。此外，氦氣在硅晶片生產(chǎn)中也用作保護(hù)氣，隔絕空氣，避免單質(zhì)硅和氧氣發(fā)生反應(yīng)。在電子支付領(lǐng)域，氦氖混合制成的氦氖激光器便宜高效且能耗低，廣泛應(yīng)用于條形碼識(shí)別、二維碼支付等。（2）核磁共振成像領(lǐng)域，已知的超導(dǎo)材料都要在-130℃以下的低溫中才能表現(xiàn)出特性，只有液氦能比較高效的實(shí)現(xiàn)這樣穩(wěn)定的超低溫。核磁共振成像儀的核心也是超導(dǎo)磁體，沒有液氦就不能
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: 氦氣應(yīng)用（三）

氦氣具有許多有用的特性，包括導(dǎo)電性和導(dǎo)熱性。在許多領(lǐng)域，這些屬性是必需的。氣體通常用于航空、火箭、核工業(yè)和電子工業(yè)以及醫(yī)藥。 1915 年，德國(guó)首次使用氦氣，他們開始用它填充飛艇。很快，這種輕質(zhì)且不易燃?xì)怏w成為航空交通工具不可或缺的填充物。1930 年代，由于化學(xué)家、冶金學(xué)家和機(jī)械制造商開始關(guān)注這種元素，人們對(duì)飛艇建造的興趣減弱，導(dǎo)致氦產(chǎn)量減少，盡管只持續(xù)了很短的時(shí)間。氦氣非常輕，因此可以在浸入水中或用于航空（氣球、飛艇）時(shí)使用。這種氣體是無毒的，可以吸入而不損害健康。正是由于這個(gè)原因
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: 單組分氣體應(yīng)用

N2；化肥、氨、硝酸等化合物的制造，惰性保護(hù)介質(zhì)，速凍食品，低溫粉碎等的制冷劑、冷卻劑，電子工業(yè)中的外延、擴(kuò)散、化學(xué)氣相沉積，離子注入，等離子干刻、光刻等，還用作標(biāo)準(zhǔn)氣、校正氣、零點(diǎn)氣、平衡氣。充入燈泡能防止鎢絲的氧化和減慢鎢絲的揮發(fā)速度，延長(zhǎng)燈泡的使用壽命，代替惰性氣體作焊接時(shí)的保護(hù)氣。真空充氮儲(chǔ)糧和水果，博物館里書籍的保存。液氮給手術(shù)刀降溫，“冷刀”手術(shù)減少出血或不出血，術(shù)后恢復(fù)快。低溫存儲(chǔ)等。 Xe；用于閃光燈，深度麻醉劑，激光器，焊接，難熔金屬切
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: 半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)鏈之電子特種氣體行業(yè)深度研究：四氟甲烷

四氟甲烷(CF4)是目前微電子工業(yè)中用量最大的等離子蝕刻氣體，廣泛用于硅、二氧化硅、氮化硅和磷硅玻璃等材料的蝕刻，在電子器件表面清洗、太陽(yáng)能電池的生產(chǎn)、激光技術(shù)、低溫制冷、氣體絕緣、泄漏檢測(cè)劑、控制宇宙火箭姿態(tài)、印刷電路生產(chǎn)中的去污劑、潤(rùn)滑劑及制動(dòng)液等方面也有大量應(yīng)用。由于它的化學(xué)穩(wěn)定性極強(qiáng)，CF4 還可用于金屬冶煉和塑料行業(yè)等。當(dāng)今超大規(guī)模集成電路所用電子氣體的特點(diǎn)和發(fā)展趨勢(shì)是超純、超凈和多品種、多規(guī)模，各國(guó)為推動(dòng)本國(guó)微電子工業(yè)的發(fā)展，越來越重視發(fā)展特種電子氣體的生產(chǎn)技術(shù)。就目前而言，CF4
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: 特種氣體的應(yīng)用

電子工業(yè)是當(dāng)今推動(dòng)科技發(fā)展的高新技術(shù)產(chǎn)業(yè),由于所用氣體的品種多、質(zhì)量要求高,為有別于其它領(lǐng)域應(yīng)用的氣體,人們把這類在電子工業(yè)中用的氣體統(tǒng)稱為電子特種氣體,它是當(dāng)今興起的高技術(shù)含量、高投入、高附加值的高新技術(shù)產(chǎn)業(yè)。電子行業(yè)常用的特氣超過三十余種，按危險(xiǎn)性質(zhì)可分為不燃?xì)怏w、可燃?xì)怏w、氧化性氣體、腐蝕性氣體、毒性氣體等。按照物理形態(tài)可分為壓縮氣體、液化氣體和低溫氣體。特種氣體的應(yīng)用領(lǐng)域主要在集成電路制造、太陽(yáng)能電池、化合物半導(dǎo)體、液晶顯示器、光纖生產(chǎn)四大領(lǐng)域,其中主要應(yīng)
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: 5G時(shí)代，鍺烷市場(chǎng)需求凸顯

鍺烷（GeH4）和乙鍺烷（Ge2H6）均為電子工業(yè)用的關(guān)鍵氣體材料，對(duì)整個(gè)行業(yè)的可持續(xù)發(fā)展起著重要的支撐配套作用。鍺烷主要用于半導(dǎo)體制程中在硅片上沉積SiGe（硅鍺）層。硅鍺材料的載流子遷移率高、能帶寬度隨Ge的組分變化而連續(xù)可調(diào)，因此,硅鍺材料在微電子和光電子方面有重大的應(yīng)用價(jià)值。5G時(shí)代，光通信芯片崛起，光通信傳輸芯片主流采用SiGe工藝來滿足其對(duì)高性能和低功耗的要求。國(guó)家發(fā)改委《增強(qiáng)制造業(yè)核心競(jìng)爭(zhēng)力三年行動(dòng)計(jì)劃(2018-2020年)》曾對(duì)鍺烷純度和裝置規(guī)模就提出過具體要求。鍺烷也用于紅外光學(xué)材料、航天器空間
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: 電子級(jí)氯化氫市場(chǎng)迎來重大機(jī)遇

電子級(jí)氯化氫屬于國(guó)家重點(diǎn)鼓勵(lì)發(fā)展類項(xiàng)目，隨著微電子工業(yè)向著大尺寸、高集成化、高均勻性和高完整性方向的飛速發(fā)展，對(duì)廣泛用于硅外延片和外延機(jī)座腐蝕的電子級(jí)氯化氫也有了新的要求。除了應(yīng)具有99.999%以上的純度，還要求氯化氫的THC、H2O和金屬離子等有機(jī)雜質(zhì)的含量越低越好。硅外延片下游終端應(yīng)用廣泛，近年隨著新興技術(shù)的出現(xiàn)其下游應(yīng)用不斷拓寬，新興應(yīng)用市場(chǎng)不斷涌現(xiàn)。通信、計(jì)算機(jī)、消費(fèi)電子、光伏、智能電網(wǎng)、醫(yī)療電子等終端應(yīng)用領(lǐng)域的快速發(fā)展以及人工智能、物聯(lián)網(wǎng)等新興產(chǎn)業(yè)的崛起極大地促進(jìn)了集
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