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: 四氟化碳、三氟甲烷、六氟丁二烯電子行業(yè)中重要的蝕刻氣體

蝕刻是電子行業(yè)重要工藝，蝕刻所用氣體稱蝕刻氣體, 通常多為氟化物氣體, 例如四氟化碳、全氟丁二烯、三氟化氮、六氟乙烷、全氟丙烷、三氟甲烷等。作為新一代環(huán)保電子氣體，電子級(jí)C4F6成為集成電路IC芯片等制造時(shí)必不可少的刻蝕氣體，其GWP值簡(jiǎn)直為0，而且能完結(jié)納米級(jí)溝槽的加工，成為電子工業(yè)領(lǐng)域內(nèi)一把神奇的“刻刀”，比γ刀還γ！ 2015年，浙化院特種氣體研發(fā)團(tuán)隊(duì)提出自主開(kāi)發(fā)新一代含氟電子氣體C4F6的提純技能。今天紐小編就帶大家一起看看C4F6是怎樣
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: 第十五屆“中國(guó)光谷”國(guó)際光電子博覽會(huì)暨論壇盛大開(kāi)幕，特種氣體迎來(lái)新機(jī)遇！

11月14日，光電核心領(lǐng)域全產(chǎn)業(yè)鏈創(chuàng)新產(chǎn)品的第十五屆“中國(guó)光谷”國(guó)際光電子博覽會(huì)暨論壇（簡(jiǎn)稱光博會(huì)）在中國(guó)光谷科技會(huì)展中心盛大開(kāi)幕。展會(huì)為期三天，首日觀展人數(shù)超萬(wàn)人。大會(huì)由工業(yè)和信息化部、科技部、國(guó)家知識(shí)產(chǎn)權(quán)局、中國(guó)科學(xué)院、中國(guó)貿(mào)促會(huì)、湖北省人民政府聯(lián)合主辦，武漢市政府、武漢東湖高新區(qū)等單位共同承辦。本屆光博會(huì)以“光聯(lián)萬(wàn)物，智引未來(lái)”為主題，以“聚全球資源，建世界光谷”為目標(biāo)，共規(guī)劃6個(gè)展館，
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: 半導(dǎo)體工業(yè)中的超高純特種氣體

超凈高純特種氣體為主要用于制備半導(dǎo)體器件、化合物半導(dǎo)體、激光器、光導(dǎo)纖維、太陽(yáng)能電池等的高純度氣體，一般純度在99.999%（5N）以上。其中55％的市場(chǎng)份額是背景氣體（如氧、氮、氬、氫、CO2等）；其他45％為特種氣體。超凈高純特種氣體包括純氣以及二元、多元混合氣。純氣己發(fā)展至100余種：混合氣己有17類、330多個(gè)品種，大約1000多種規(guī)格。超凈高純特種氣體配套性很強(qiáng)，根據(jù)不同用途分別有電子級(jí)、載氣級(jí)、發(fā)光二極管級(jí)、光導(dǎo)纖維級(jí)、VLSI級(jí)（超大規(guī)模集成電路級(jí)）等。最近為適應(yīng)兆位集成電路的生產(chǎn)
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: 中秋、國(guó)慶雙節(jié)臨近，乙炔市場(chǎng)小幅上漲

隨著新技術(shù)、新成果的不斷涌現(xiàn)，近幾年特種氣體應(yīng)用范圍越來(lái)越廣。在國(guó)民經(jīng)濟(jì)高速發(fā)展及下游行業(yè)的強(qiáng)勁需求下，我國(guó)特種氣體行業(yè)進(jìn)入快速發(fā)展階段。然隨著產(chǎn)能的不斷釋放，近期原材料電石、無(wú)水氫氟酸的變化，也牽動(dòng)著下游乙炔的神經(jīng)。電石價(jià)格達(dá)到6年來(lái)最高水平，乙炔局部有上漲意向據(jù)了解，電石價(jià)格進(jìn)入8月份后開(kāi)始上漲，至今1個(gè)多月時(shí)間上漲價(jià)格已超越去年價(jià)格最高點(diǎn)。目前電石價(jià)格達(dá)到了6年以來(lái)的最高水平，2018年至今同比去年同期增幅15.6%。此次價(jià)格出現(xiàn)連續(xù)上漲的主要原因是電石
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: 氣瓶充裝質(zhì)量管理要求及應(yīng)急措施

特種氣體充裝前對(duì)鋼瓶檢查的重要意義氣體在充裝前必須對(duì)氣瓶逐只進(jìn)行認(rèn)真的檢查,這是為了防止氣瓶在充裝過(guò)程中或是在運(yùn)輸、貯存、使用中，由于混裝、錯(cuò)裝、換裝、報(bào)廢或是超期服役等原因而發(fā)生事故。質(zhì)量管理的要求 1、鋼印標(biāo)記、顏色標(biāo)記不符合規(guī)定，對(duì)瓶?jī)?nèi)介質(zhì)未確認(rèn)的 2、附件損壞、不全或不符合規(guī)定的 3、瓶?jī)?nèi)無(wú)剩余壓力的 4、超過(guò)檢驗(yàn)期限的 5、經(jīng)外觀檢查，存在明顯損傷，需進(jìn)地步檢驗(yàn)的 &nbs
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: 蝕刻技術(shù)中特種氣體的作用

硅片的蝕刻氣體（特種氣體）主要是氟基氣體,包括四氟化碳、四氟化碳/氧氣、六氟化硫、六氟乙烷/氧氣、三氟化氮等。但由于其各向同性,選擇性較差,因此改進(jìn)后的蝕刻氣體通常包括氯基(Cl2)和溴基(Br2、HBr)氣體。反應(yīng)后的生成物包括四氟化硅、四氯硅烷和SiBr4。鋁和金屬?gòu)?fù)合層的蝕刻通常采用氯基氣體,如CCl4、Cl2、BCl3等。產(chǎn)物主要包括AlCl3等蝕刻是采用化學(xué)和物理方法,有選擇地從硅片表面去除不需要的材料的過(guò)程。刻蝕的目的是在涂膠的硅片上正確地復(fù)制掩膜圖形?？涛g分為濕法蝕
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: 顯示屏制造中特種氣體的應(yīng)用

顯示屏是有源矩陣薄膜晶體管（TFT），在二世紀(jì)九十年代開(kāi)始投入民用，到如今已經(jīng)是我們生活中不可或缺的組成部分，它在我們生活中已經(jīng)是隨處可見(jiàn)了，大家天天離不開(kāi)的手機(jī)、電視，馬路上的廣告、標(biāo)牌等等。顯示屏的制造與半導(dǎo)體器件的制造有許多相似的地方，不僅生產(chǎn)工藝步驟十分相似，而且在制造過(guò)程中都需要使用大量的氣體，使用的氣體類型也大都相同。今天紐小編就和大家一起來(lái)了解一下特種氣體在顯示屏生產(chǎn)中的應(yīng)用。顯示屏生產(chǎn)中用到氣體主要分為量大類：電子特種氣體和
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: 電子氣體哪里用？

2018年是第三代半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)化準(zhǔn)備的關(guān)鍵期,到2025年，第三代半導(dǎo)體器件將在移動(dòng)通信、高效電能管理中國(guó)產(chǎn)化率占50%；LED通用照明市場(chǎng)占有率達(dá)到80%，核心器件國(guó)產(chǎn)化率達(dá)到95%；第三代半導(dǎo)體器件在新能源汽車、消費(fèi)類電子領(lǐng)域?qū)崿F(xiàn)規(guī)模應(yīng)用。第三代半導(dǎo)體是“重點(diǎn)新材料研發(fā)及應(yīng)用”重大項(xiàng)目的組成部分。目前，我國(guó)微電子、光電子等電子信息產(chǎn)業(yè)高速發(fā)展，而微電子、光電子產(chǎn)業(yè)對(duì)氣體的質(zhì)量要求極高，這促使了國(guó)內(nèi)特種氣體公司意識(shí)到了自有技術(shù)的重要性。我們將這個(gè)領(lǐng)域所使用的的氣體叫電子氣
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: 最新電子級(jí)特種氣體生產(chǎn)項(xiàng)目落戶重慶市

近日，中歐電子氣體及材料公司電子級(jí)特種氣體生產(chǎn)項(xiàng)目簽約落戶重慶市長(zhǎng)壽經(jīng)開(kāi)區(qū)。　該項(xiàng)目由邦盟（日本）資本有限公司投資4.6億元，分兩期建設(shè)年產(chǎn)5735噸電子級(jí)特種氣體生產(chǎn)基地，計(jì)劃今年11月開(kāi)工，2018年3月一期建成投產(chǎn)，整個(gè)項(xiàng)目達(dá)產(chǎn)后將實(shí)現(xiàn)年產(chǎn)值約10億元。該項(xiàng)目為重慶市首個(gè)電子級(jí)特種氣體生產(chǎn)項(xiàng)目，主要生產(chǎn)六氟化鎢、三氟化氮等27種（類）電子級(jí)特種氣體，部分產(chǎn)品填補(bǔ)國(guó)內(nèi)空白，可滿足集成電路、液晶面板生產(chǎn)工藝對(duì)高純特種氣體的需求。未來(lái)，還將在渝建設(shè)電子級(jí)特種氣體研發(fā)中心及設(shè)備生產(chǎn)基地。該項(xiàng)目的落戶
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: 高純氣體輸送時(shí)氣體的純度、干燥度和潔凈度

氣體產(chǎn)品作為現(xiàn)代工業(yè)重要的基礎(chǔ)原料，應(yīng)用范圍十分廣泛，在冶金、鋼鐵、石油、化工、機(jī)械、電子、玻璃、陶瓷、建材、建筑、食品加工、醫(yī)藥醫(yī)療等部門，均使用大量的常用氣體或特種氣體。能否將合符要求的高純氣體送至用氣點(diǎn)仍保持質(zhì)量合格的關(guān)鍵技術(shù)；高純氣配管技術(shù)是高純氣體供氣系統(tǒng)的重要組成部分，包括系統(tǒng)的正確設(shè)計(jì)、管件及附件的選擇、施工安裝和試驗(yàn)測(cè)試等內(nèi)容。氣體的應(yīng)用，特別對(duì)這些領(lǐng)域的高新技術(shù)有重要的影響，是其不可缺少的原料氣或工藝氣。也只有各種新興工業(yè)部門和現(xiàn)代科學(xué)技術(shù)的需要和推動(dòng)，氣體工業(yè)產(chǎn)品才能在品種、質(zhì)量和
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