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氦氣應(yīng)用(二)
(1)氦在電子工業(yè)領(lǐng)域發(fā)揮重要作用。在半導(dǎo)體、液晶面板和光纖制造過程中,氦氣在實(shí)現(xiàn)零部件快速冷卻同時(shí)還能控制熱傳遞速率,改善了生產(chǎn)效率并減少了缺陷。此外,氦氣在硅晶片生產(chǎn)中也用作保護(hù)氣,隔絕空氣,避免單質(zhì)硅和氧氣發(fā)生反應(yīng)。在電子支付領(lǐng)域,氦氖混合制成的氦氖激光器便宜高效且能耗低,廣泛應(yīng)用于條形碼識別、二維碼支付等。 (2)核磁共振成像領(lǐng)域,已知的超導(dǎo)材料都要在-130℃以下的低溫中才能表現(xiàn)出特性,只有液氦能比較高效的實(shí)現(xiàn)這樣穩(wěn)定的超低溫。核磁共振成像儀的核心也是超導(dǎo)磁體,沒有液氦就不能更多 +
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高純氣體在半導(dǎo)體、光纖等行業(yè)的應(yīng)用?
高純氣體工藝系統(tǒng)目前主要用于泛半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)(集成電路、平板顯示、光伏、LED等等)和光纖、生物制藥及食品飲料行業(yè)。 高純氣體工藝系統(tǒng)的好壞會直接影響先進(jìn)制造行業(yè)中工藝設(shè)備的運(yùn)行及投產(chǎn)后的成品率。一個(gè)優(yōu)秀的高純氣體工藝系統(tǒng)設(shè) 企業(yè)如沃飛,能通過控制高純氣體的純度,實(shí)現(xiàn)其制程精度要求,保障并提升產(chǎn)品良率。 1、在泛半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)中高純氣體工藝系統(tǒng)的運(yùn)用 高純度的特種氣體參與泛半導(dǎo)體行業(yè)集成電路制造的核心工藝流程:摻雜、光刻、刻蝕和CVD成膜工藝環(huán)節(jié)。更多 +
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高純氣體介紹:
高純氣體概述: 高純氣體(High Purity Gases)氣體工業(yè)名詞,通常指利用現(xiàn)代提純技術(shù)能達(dá)到的某個(gè)等級純度的氣體。對于不同類別的氣體,純度指標(biāo)不同,例如對于氫,氮,氦,氬而言,通常指純度等于或高于99.999%的為高純氣體;而對于氧氣,純度為99.199%即可稱高純氧;對于碳?xì)浠衔?,純度?9199%的即可認(rèn)為是高純氣體。高純氣體應(yīng)用領(lǐng)域極寬,在半導(dǎo)體工業(yè),高純氮,氫,氬,氦可作為運(yùn)載氣,保護(hù)氣和配制混合氣的底氣。 高純氣體根更多 +
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六氟化硫行業(yè)產(chǎn)能及應(yīng)用領(lǐng)域,半導(dǎo)體國產(chǎn)化帶動電子級SF6需求
六氟化硫(化學(xué)式為SF6)常態(tài)下是一種無色、無味、無毒、無嗅的非燃燒性氣體。作為一種電子氣體,六氟化硫具有良好的化學(xué)穩(wěn)定性、耐腐蝕性、電絕緣性以及耐熱性,在半導(dǎo)體、電力設(shè)備、航空航天、半導(dǎo)體制造、金屬加工、醫(yī)療等領(lǐng)域應(yīng)用廣泛。 根據(jù)應(yīng)用領(lǐng)域不同,六氟化硫可分為工業(yè)級六氟化硫以及電子級六氟化硫,近年來,隨著大規(guī)模集成電路技術(shù)提升,市場對電子氣體純度、質(zhì)量等要求越來越高,在此背景下,六氟化硫產(chǎn)業(yè)逐漸由工業(yè)級向電子級方向升級。 電子級六氟化硫可作為氟源、蝕刻氣體等應(yīng)用在半導(dǎo)體、面板顯示器件更多 +
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氖氣短缺將無法找到替代來源
烏克蘭是半導(dǎo)體行業(yè)所需的氖、氪、氙等惰性氣體的主要生產(chǎn)國。一般估計(jì),烏克蘭為全球供應(yīng)大約70%的高純度氖氣、40%的氪氣和30%的氙氣。2022年2月初,就有機(jī)構(gòu)和分析師警告,如果烏克蘭陷入戰(zhàn)火,氖氣供應(yīng)鏈也就被破壞,將引發(fā)漲價(jià)和供應(yīng)鏈混亂。 根據(jù)市場研究公司Techcet估計(jì),2021年全球用于芯片生產(chǎn)的氖氣消費(fèi)量約為540噸。其中,約有45%-54%的半導(dǎo)體級氖氣,是由烏克蘭Ingas和Cryoin兩家公司供應(yīng)。但現(xiàn)在因 俄烏沖突,烏克蘭兩大氖氣供貨商已被迫停工,市面上半導(dǎo)體所需的高純更多 +
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電子氣體是什么?
電子氣體是指用于半導(dǎo)體及其他電子產(chǎn)品生產(chǎn)的氣體,與傳統(tǒng)的工業(yè)氣體相比,電子氣體特殊,在氣體的純凈度要求極高,所以也被稱為電子特種氣體,廣泛應(yīng)用于集成電路顯示面板、光伏能源、光纖光纜、新能源汽車、環(huán)保醫(yī)療等領(lǐng)域。 國內(nèi)特種氣體于20世紀(jì)80年代隨著國內(nèi)電子行業(yè)的興起而逐步發(fā)展,隨著技術(shù)的逐步突破,國內(nèi)氣體公司在電光源、氣體、激光氣體、消毒氣體等領(lǐng)域發(fā)展迅速,但與國外氣體公司相比,大部分國內(nèi)氣體公司的供應(yīng)產(chǎn)品仍然較為單一。尤其是在集成電路顯示面板、光伏能更多 +
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氟化物氣體應(yīng)用
COF2;有機(jī)合成中間體,氟化劑。 CHF3;蝕刻,冷凍劑,有機(jī)合成。 CH2F2;致冷劑。 CH3F;噴霧劑,C-F鍵的研究。 WF6;氟化劑,鎢載體,化學(xué)氣相沉積。 SF6;電子設(shè)備,雷達(dá)波導(dǎo),粒子加速器,變壓器,避雷器的氣 絕緣體,制冷劑,示蹤裝置,醫(yī)療,半導(dǎo)體制造中的蝕刻、化學(xué)氣相沉積,標(biāo)準(zhǔn)氣,檢漏氣體,色譜儀的載氣。 NF3;火箭推進(jìn)劑,氟化劑,電子氣,等離子干刻,摻雜,激光,光導(dǎo)纖維 。 S更多 +
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氫化物氣體應(yīng)用
H2Se;實(shí)驗(yàn)用,摻雜氣,制備硒化物,擴(kuò)散、離子注入。 H2S;化學(xué)分析,金屬的精制,各種工業(yè)試劑、農(nóng)藥、醫(yī)藥品、螢光體、電發(fā)光、半導(dǎo)體光電曝光儀,硫及各種硫化物的制備,有機(jī)合成的還原劑、標(biāo)準(zhǔn)氣、校正氣、等離子干刻。 AsH3,擴(kuò)散、外延生長,離子注入,化合物半導(dǎo)體用氣體,化學(xué)氣相沉積。 PH3;縮合催化劑,聚合引發(fā)劑,磷的有機(jī)化合物制備,發(fā)生氣體,外延生長、擴(kuò)散、離子注入,蝕刻,化學(xué)氣相沉積,糧倉的殺蟲藥。 NH3;氮肥,銨鹽,硝酸,尿素,丙烯腈,藥品染料,金屬更多 +
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氧化物氣體應(yīng)用
COS;用 于碳氧化物,硫代酸,硫代碳酸鹽和噻唑的合成,校準(zhǔn)氣。 SO2;制備H2SO4、Na2S等無機(jī)硫化物,有機(jī)物合成,熏蒸劑,殺蟲劑,水果蒸菜的保鮮劑,消毒用殺菌劑,漂白劑,造紙工業(yè),制冷劑,石油精練,鎂的冶煉,防腐劑,標(biāo)準(zhǔn)氣,校正氣,在線儀表標(biāo)準(zhǔn)氣。 N2O;牙科、外科、婦產(chǎn)科用麻醉劑,探漏,制冷劑,助燃劑,防腐劑,化工原料,原子吸收光譜用氣,半導(dǎo)體制造用平衡氣,氧化、化學(xué)氣相沉積,標(biāo)準(zhǔn)氣,醫(yī)療氣,煙霧噴射劑,真空和帶壓檢漏。 NO;硅的氧化膜形成,氧化、更多 +
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氦氣的應(yīng)用領(lǐng)域
氦氣廣泛應(yīng)用于軍工、科研、石化、制冷、醫(yī)療、半導(dǎo)體、管道檢漏、超導(dǎo)實(shí)驗(yàn)、金屬制造、深海潛水、高精度焊接、光電子產(chǎn)品生產(chǎn)等。 1、低溫冷源:利用液氦的-268.9℃的低沸點(diǎn),液氦可以用于超低溫冷卻。而超低溫冷卻技術(shù)在超導(dǎo)技術(shù)等領(lǐng)域有較廣泛的應(yīng)用,超導(dǎo)材料需要在低溫(100K左右)中才能表現(xiàn)出超導(dǎo)特性,大多數(shù)情況下只有液氦能比較簡便地實(shí)現(xiàn)這樣的極低溫。超導(dǎo)技術(shù)在交通行業(yè)的磁懸浮列車,醫(yī)療領(lǐng)域的核磁共振成像設(shè)備都有較大的應(yīng)用。 2、氣球充氣:由于氦氣密度遠(yuǎn)小于空氣(空氣的密度為1.29kg/m3,氦氣的密更多 +
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