易燃易爆有毒類電子工業(yè)用硅烷鍺烷氣體檢測(cè)新技術(shù)研究通過(guò)驗(yàn)收 

  近日，有國(guó)家化學(xué)工業(yè)氣體之間中心承擔(dān)的國(guó)家質(zhì)檢總局科技計(jì)劃項(xiàng)目《易燃、易爆、有毒類電子工業(yè)用硅烷、鍺烷氣體檢測(cè)新技術(shù)研究》順利通過(guò)驗(yàn)收。評(píng)審專家組認(rèn)真聽(tīng)取了項(xiàng)目實(shí)施情況的匯報(bào)， 生茶了相關(guān)文件資料，認(rèn)為該項(xiàng)目組全面完成了合同書(shū)規(guī)定的任務(wù)，一致同意該項(xiàng)目通過(guò)驗(yàn)收。 該項(xiàng)目申報(bào)國(guó)家發(fā)明專利一項(xiàng)，在中國(guó)科技核心期刊上發(fā)表論文一篇，設(shè)計(jì)加工了氣體檢測(cè)樣品前處理裝置一套。研究成果達(dá)到國(guó)內(nèi)領(lǐng)先。

  該項(xiàng)目獎(jiǎng)低溫精餾技術(shù)應(yīng)用于易燃、易爆、有毒類電子工業(yè)用氣體純度檢測(cè)的錢處理過(guò)程中，設(shè)計(jì)了一套可將電子工業(yè)用氣體中具有危險(xiǎn)性的主組分過(guò)濾，雜志組分氣體之間靜茹色譜檢測(cè)的預(yù)處理系統(tǒng)，有限解決了高純度和高化學(xué)活性的sih4、geh4易燃、易爆、有毒類氣體對(duì)色譜檢測(cè)器造成的污染和對(duì)人員造成傷害等難題，建立了一種安全、漸變地檢測(cè)易燃、易爆和有毒類電子用工業(yè)氣體純度的新方法。本項(xiàng)目所設(shè)計(jì)和制備的氣體預(yù)處理系統(tǒng)有望發(fā)展建立一種新的快速、安全、簡(jiǎn)便的易燃、易爆、有毒類電子工業(yè)氣體純度檢測(cè)分析技術(shù)，也有望推廣到其他類似電子工業(yè)氣體純度的檢測(cè)，具有一定的學(xué)術(shù)理論意義，且具有廣闊的應(yīng)用前景。