氬氣在特殊領域的重要的應用

氬氣在特殊領域中有著重要的應用。它的主要用途之一是在光學領域中作為激光器的工作

介質。此外，氬氣還可用于電弧焊、氣體保護焊、燈光效果和照明、溫控和降溫、醫(yī)療手

術、電氣設備絕緣保護等。在這些特殊用途中，氬氣發(fā)揮著非常重要的作用。
氬氣是目前廣泛應用于工業(yè)領域的一種稀有氣體。在自然界中，它具有極高的惰性，既不

燃燒也不助燃。在飛機制造、船舶、原子能和機械工業(yè)等領域，氬氣常被用作保護氣體，

用于對鋁、鎂、銅及其合金以及不銹鋼等特殊金屬進行焊接，以防止焊接部件被空氣氧化

或硝化。
高純度的氬氣主要用于焊接、不銹鋼生產(chǎn)和冶煉。它還廣泛應用于半導體制造過程中的化

學氣相沉積、晶體生長、熱氧化、外延、擴散、多晶硅生產(chǎn)、鎢生產(chǎn)、離子注入和載流等

領域。在生產(chǎn)單晶和多晶硅時，燒結氬氣被用作保護氣體，以提高硅晶體的質量。選擇高

純度的氬氣對制造硅晶體至關重要，這是一個問題，通過使用特定的設備可以解決。
當氬氣的氧含量小于1ppm，并且水含量小于1ppm時，所生產(chǎn)的單晶硅的氧碳含量將不超

過0.5ppm。這樣操作有助于提高單晶硅的使用壽命，滿足各項要求，并因此獲得客戶的滿

意度和滿足市場需求。由于氬氣是蒸發(fā)而來且沒有經(jīng)過純化處理，其含氧量通常在2ppm至

5ppm之間。有時，氣體供應商提供的氬氣含氧量會超過此范圍，而使用氬氣的客戶可能并

不了解氬氣的質量，這將經(jīng)常會對產(chǎn)品質量產(chǎn)生影響。
只要使用氬氣凈化裝置處理氬氣原料氣體，無論其質量如何，所得到的進入晶體爐的氬氣

純度總是不變的。通常情況下，其雜質O2＜0.2PPM，濕度＜1PPM，這有利于保證穩(wěn)定的

氬氣產(chǎn)生高質量的晶體。