首先,由于氦的外部電子是2,氦只有一層電子,第一層電子是2,這意味著結(jié)構(gòu)穩(wěn)定,氦的化學(xué)性質(zhì)相對(duì)穩(wěn)定,不易反應(yīng)和爆炸。氦在一些有價(jià)值的設(shè)備中用于檢測氣體,如飛機(jī)和航天器。然而,氦在自然界中的儲(chǔ)量很少,價(jià)格也相對(duì)昂貴。因此,為了節(jié)約成本,一些公司選擇氫氮混合物作為泄漏檢測氣體或直接使用氮?dú)庾鳛樾孤z測氣體。為防止半導(dǎo)體器件、集成電路等部件表面因廢水、蒸汽等雜質(zhì)而性能下降,必須密封外殼。
但由于各種原因,管殼或引線接頭的密封部位經(jīng)常出現(xiàn)肉眼難以找到的小孔。因此,一旦組件包裝好,就必須采取一些方法來檢測這些小孔的存在。氦檢漏是用氦檢查電子元件包裝上的小孔。由于氦原子的尺寸很小,很容易穿過小孔進(jìn)入管殼。因此,這種檢測方法可以檢測到非常小的孔(也就是說,它可以檢測到1011~1012左右的漏氣量 cm3/sec的小孔)。靈敏度與檢測放射性泄漏的方法相當(dāng),但比檢測放射性泄漏更簡單。
氦泄漏檢測方法:首先將包裝好的部件放入充滿氦的容器中,按壓,讓氦通過小孔進(jìn)入管殼;然后取出管殼表面殘留的氦,用壓縮空氣吹凈;然后用質(zhì)譜儀檢測管殼表面的氦泄漏。