現(xiàn)在科學技術(shù)的發(fā)展和技術(shù)的提高，關(guān)于一些先進技術(shù)的制造材料也被稱為越來越多，

在像芯片制造行業(yè)，需要一些更先進的材料，比如高純度的硅烷，高純一氧化二氮、

氨氣、氖氣等電子特種氣體是作為半導體電子行業(yè)應用的一種特種氣體，歷來被譽為

電子行業(yè)的“血液”，廣泛應用于各類半導體制造過程。

電子特種氣體對氣體質(zhì)量要求非常高，我國大部分仍依賴進口。目前，我國部分產(chǎn)品

已取得突破，如高純硅烷、高純氨、高純亞硝酸鹽、高純CL2、高純氬、高純鍺烷等。

但國內(nèi)電子行業(yè)存在一些難以突破的技術(shù)壁壘。

首先，深度凈化技術(shù)難度大。以硅烷為例，純度從4N提純到6N還有很長的路要走。

除解決常見氣態(tài)雜質(zhì)的凈化問題外，金屬元素應凈化至10-9至10-12級別。二是包裝

儲運跟不上。超高純氣體的生產(chǎn)和應用需要采用高質(zhì)量的氣體包裝儲運容器以及相

應的氣體輸送管道、閥門和接口，以避免二次污染的發(fā)生。三是分析測試理念落后。

電子氣體生產(chǎn)和應用領(lǐng)域的分析檢測技術(shù)的研究和開發(fā)在國內(nèi)還沒有引起足夠的重視。

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