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同位素硼:半導(dǎo)體工藝中的隱形英雄

文章出處:責(zé)任編輯:人氣:-發(fā)表時(shí)間:2024-10-21 09:03:33【

同位素硼:半導(dǎo)體工藝中的隱形英雄  

15N-N2(1)
同位素:有?類物質(zhì)具有相同的質(zhì)?數(shù),不同的中?數(shù),它們占據(jù)化學(xué)元素

周期表的同?位置,我們稱之為同位素(Isotope)。

整個(gè)芯片行業(yè)比較大,專注于芯片制造過(guò)程中的離子注入等過(guò)程。硼-10(以

下簡(jiǎn)稱“10B”)和硼-11(以下簡(jiǎn)稱“11B”)在自然界中的比例是11。:但是在離子

注射過(guò)程中,需要高豐度的11B。所以,為了滿足所需的豐度,我們采用了

持續(xù)分離和去除10B的過(guò)程。舉例來(lái)說(shuō),我們產(chǎn)品硼的純度可以達(dá)到99.999%

,但是仍然不合格。盡管硼的純度很高,但是為了達(dá)到更高的純度11B,我

們?nèi)匀恍枰獙?0B的含量降低到更低的水平。
同位素硼的工業(yè)市場(chǎng)前景十分廣闊。同位素有10B和11B兩種,我們豐富的

10B能吸收中子,因此在核電行業(yè),尤其是在安全環(huán)節(jié),需求量很大。半導(dǎo)

體行業(yè),雖然不需要10B,但對(duì)11B的需求卻很大。所以,如果我們?cè)?0B和

11B中獲得高豐,它不僅可用于核電行業(yè),也可用于半導(dǎo)體行業(yè)。

有一種非常流行的方法叫做硼中子捕獲療法,簡(jiǎn)稱BNCT,主要針對(duì)腦膠質(zhì)

瘤。它是用10B吸收中子后的一種。α衰變,α衰變半徑很短,只是癌細(xì)胞的

半徑,從而破壞癌細(xì)胞。所以硼被廣泛使用。它需要半導(dǎo)體、核電和醫(yī)療。

只要它能分離出高豐度的硼,當(dāng)然。
現(xiàn)在,人類已經(jīng)發(fā)現(xiàn)了13種同位素硼,其中11種是放射性的,只有10B和11

B是穩(wěn)定的同位素,沒(méi)有放射性。在半導(dǎo)體和電子芯片制造過(guò)程中,10B具

有很強(qiáng)的中子吸收能力,而11B幾乎不吸收任何中子。這一差異決定了10B

作為核電和醫(yī)療領(lǐng)域的基礎(chǔ)材料,而三氟化硼-11氣體(以下簡(jiǎn)稱11BF3)作為

高端半導(dǎo)體產(chǎn)品制造的電子特性,是半導(dǎo)體和電子芯片制造過(guò)程中的消耗材

料。

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