1、冷凝法:天然氣提氦在工業(yè)上采用冷凝法,該法工藝包括天然氣的預(yù)處理凈化、粗氦制取及氦的精
制等工序,制得99.99%的純氦氣。天然氣—凈化—粗氦—精制—氦氣。
2、空分法:采用分凝法,從空氣裝置中提取粗氦、氖混合氣,由粗氦、氖混合氣制純氦、氖混合氣,
經(jīng)分離及純化,制得99.99%的純氦氣。空氣—空分—粗氦、氦氣—純氦、氖氣—分離—純化—純氦氣。
3、氫液化法:工業(yè)上采用氫液化法從合成氨尾氣中提氦。該法工藝是低溫吸附清除氮、精餾得到粗氦,
加氧催化除氫及氦的純化,制得99.99%的純氦氣。原料氣—除氮—精餾—除氫—純化—氦氣。