氪具有比氬更大的相對(duì)分子質(zhì)量和小的導(dǎo)熱系數(shù)，使它成為優(yōu)良的充填氣。用氪氣充填的等有：白熾燈、熒光燈、閃光弧光燈、碘燈等。氪燈比同功率的氟燈省電20%~25%，壽命長(zhǎng)2~3倍。長(zhǎng)壽命氪燈體積小，對(duì)礦井作業(yè)很適用。實(shí)驗(yàn)室里用到的連續(xù)紫外光等也可以用氪氣充填。氪還能制成不需要電能的原子燈，用于無(wú)可用電源的工作場(chǎng)所。氪燈的透射能力特別強(qiáng)，可用于夜戰(zhàn)中的越野戰(zhàn)車做照射燈。在飛機(jī)機(jī)場(chǎng)跑道上，通常使用氪氣充填的閃光弧光等做照明，因?yàn)樗┩胳F的能力很強(qiáng)。

 

 

氪氣的新用途是用于電子工業(yè),準(zhǔn)分子激光刻蝕（Kr+F）：1997年起已用于0.25μm的集成電路硅片生產(chǎn)線（128M，256M,1G,4G等硅片的生產(chǎn)），新用途的開(kāi)發(fā)也改變了實(shí)際生產(chǎn)中Kr過(guò)剩而Xe不足的問(wèn)題。在準(zhǔn)分子激光的應(yīng)用中，基于安全的因素，在（Kr+F）混合氣中含F(xiàn)的濃度控制在2.5%~10%（一般為5%）。其他還有（Kr+Ne+F）的三元混合氣。

 

 

目前氪氣已在鎧俠(日本東芝)、SK海力士規(guī)模應(yīng)用，市場(chǎng)有傳聞三星也有導(dǎo)入計(jì)劃。國(guó)內(nèi)長(zhǎng)江存儲(chǔ)，大連英特爾已小規(guī)模在使用。氪氣其在3D NAND上應(yīng)用主要是深溝道槽的刻蝕與清潔。3D NAND的溝道槽縱深比大，按要求刻蝕好深溝道槽圖形的重要性非常突出。據(jù)消息人士2019年年底預(yù)測(cè)，2020年該行業(yè)氪氣的用量可達(dá)4000m3/月（沒(méi)有考慮疫情影響）。隨著5G、物聯(lián)網(wǎng)技術(shù)、及各類電子產(chǎn)品快速迭代，大數(shù)據(jù)正呈現(xiàn)出爆炸式的增長(zhǎng)，3DNAND芯片的需求也隨之高速增長(zhǎng)。因而氪氣的使用量也隨著增長(zhǎng)，突顯加劇氪氣供需不平衡。