江西華特電子特氣項目年產(chǎn)1936.2噸 震撼發(fā)布！  

近日，永修縣人民政府宣布，江西華特電子化工有限公司計劃在江西省九江市永

修縣經(jīng)濟(jì)開發(fā)區(qū)星火工業(yè)園區(qū)現(xiàn)有廠區(qū)投資17400萬元建設(shè)年產(chǎn)1936.2噸電子特

種氣體項目。根據(jù)《環(huán)境影響評價公眾參與辦法》（生態(tài)環(huán)境部令第4號）的規(guī)

定，向公眾公布相關(guān)環(huán)境評價信息。




項目介紹
項目名稱


江西華特永修年產(chǎn)1936.2噸電子特氣項目。


建設(shè)地點


江西省九江市永修縣經(jīng)濟(jì)開發(fā)區(qū)星火工業(yè)園區(qū)現(xiàn)有廠區(qū)，中心地理坐標(biāo)為北緯

N29°8′16.331″，東經(jīng)115°46′8.336″。





建設(shè)規(guī)模


一套15t/a乙硅烷、一套1t/a丙硅烷、一套0.2t/a乙鍺烷、一套20t/a鍺烷、一套

300t/aC4F6新擴(kuò)建生產(chǎn)裝置、一套600t/a環(huán)氧乙烷分裝置、一套1000t/a三氟

化氮分裝置。


關(guān)于三氟化氮


三氟化氮作為集成電路、顯示面板等制造過程中使用的優(yōu)良等離子蝕刻氣體，

具有優(yōu)異的蝕刻速率和選擇性。與其他含氟電子氣體四氟化碳和六氟化硫相比，

不會導(dǎo)致碳和硫沉積到硅表面，使用后對表面污染小。因此，三氟化氮是目前

市場上最大的電子特種氣體產(chǎn)品之一。


三氟化氮是國產(chǎn)化比較成功的含氟特氣之一，國外生產(chǎn)企業(yè)主要包括SK Materials

、韓國曉星、日本關(guān)東電化、德國默克等，國內(nèi)生產(chǎn)企業(yè)主要包括南大光電、浩

華氣體、中船特氣。


關(guān)于六氟丁二烯


六氟丁二烯（C4F6）又稱全氟丁二烯，作為下一代蝕刻氣體，被認(rèn)為具有競爭優(yōu)

勢。它可以取代CF4用于KRF激光銳利蝕刻半導(dǎo)體電容器圖形的干燥過程。C4F6

在先進(jìn)工藝技術(shù)層面具有許多蝕刻優(yōu)點：選擇性高、精度高、各向異性好，適用

于100 nm以下電子線路蝕刻性能優(yōu)于全氟碳?xì)怏w和NF3；與C4F8相比，C4F6還

具有更高的光阻和氮化硅選擇比，這是兩個非常重要的優(yōu)點；此外，環(huán)境也是一

個非常重要的因素，C4F6的全球變暖潛力值(GWP)幾乎為零。專家指出，到目

前為止，C4F6可能是唯一能夠提供所需蝕刻條件和減少排放的替代品。


六氟丁二烯(C4F6)是一種附加值高、市場前景廣闊的電子氣體。目前主要由海外

廠商和海外廠商在國內(nèi)子公司經(jīng)營，韓國厚城、梅塞爾、關(guān)東電化、大陽日酸在

國內(nèi)都有生產(chǎn)布局。國內(nèi)也有很多企業(yè)開始研究，包括綠菱氣體、玉極科技、浙

江化工學(xué)院、派瑞特氣體等。