隨著近年來(lái)半導(dǎo)體市場(chǎng)的高速增長(zhǎng)，半導(dǎo)體工藝中使用的氖 (Ne)、氙 (Xe) 和氪 (Kr) 等稀有氣體的需求迅速增加。韓國(guó)稀有氣體市場(chǎng)預(yù)計(jì)將從2020年約1600億韓元增長(zhǎng)到2023年約2800億韓元，年均增長(zhǎng)20%。然而，韓國(guó)目前100%進(jìn)口稀有氣體。

氖氣是空氣中含量?jī)H有0.00182%的一種稀有氣體，是半導(dǎo)體曝光工藝中使用的準(zhǔn)分子激光氣體的原料之一。過(guò)去，全部進(jìn)口并依賴外國(guó)技術(shù)，由于貿(mào)易爭(zhēng)端導(dǎo)致價(jià)格飆升和供應(yīng)短缺，韓國(guó)曾試圖將產(chǎn)品本地化。此次建成的裝置每年可生產(chǎn)約22000Nm3高純氖氣，預(yù)計(jì)可滿足國(guó)內(nèi)需求的16%。POSCO于去年年底完成了產(chǎn)品質(zhì)量評(píng)估，今年將完成設(shè)施竣工并正式開(kāi)始商業(yè)生產(chǎn)。作為成功完成課題的獎(jiǎng)勵(lì)，TEMC獲得了初期投資金的全部補(bǔ)償，并取得了POSCO氖氣的長(zhǎng)期購(gòu)買權(quán)。

浦項(xiàng)制鐵1月12日在光陽(yáng)工廠制氧廠舉行了“氖氣生產(chǎn)設(shè)備竣工和發(fā)貨儀式”，該項(xiàng)目由韓國(guó)鋼鐵制造商浦項(xiàng)制鐵(POSCO)與半導(dǎo)體專用氣體公司TEMC合作。從2019年底開(kāi)始推進(jìn)氖氣生產(chǎn)的完全國(guó)產(chǎn)化約兩年。公司采用大型空分裝置，以光陽(yáng)制氧廠和TEMC技術(shù)為基礎(chǔ)，自主開(kāi)發(fā)了國(guó)內(nèi)首個(gè)氖氣生產(chǎn)設(shè)備。在韓國(guó)首次將半導(dǎo)體用稀有氣體氖（Ne）的生產(chǎn)設(shè)備和技術(shù)本地化，并交付了第一批產(chǎn)品。TEMC利用自有技術(shù)對(duì)提取的氖氣進(jìn)行提煉后，完成了準(zhǔn)分子激光氣體生產(chǎn)全過(guò)程的國(guó)產(chǎn)化。