規(guī)范高純空氣制取與質(zhì)量控制的國家標準

一、高純空氣簡介
高純空氣是指純度高于99.99%（體積分數(shù)），不含任何雜質(zhì)和微量元素的氣體。廣泛應(yīng)用于工業(yè)

生產(chǎn)、生命科學、半導(dǎo)體制造等領(lǐng)域，是許多高新技術(shù)產(chǎn)業(yè)的重要原料。高純空氣一般通過空氣

中的氮、氧、氬的分離獲得，生產(chǎn)過程需要嚴格的控制和質(zhì)量保證措施。

二、高純空氣國家標準執(zhí)行標準
為了規(guī)范高純空氣的生產(chǎn)和質(zhì)量控制，中國有關(guān)部門制定了相應(yīng)的國家標準。其中，GB/T 14687

-2011《超高純氣體制備規(guī)范》是超高純氣體制備的規(guī)范性文件，主要包括制氣壓力、制氣設(shè)備、

制氣管道、制氣材料、制氣過程控制和制氣質(zhì)量檢測；GB/T 20378-2018年《高純氣體制備質(zhì)量控

制標準》是高純氣體制備過程中的質(zhì)量控制標準，包括氣體純度、雜質(zhì)含量、含水量、微量元素含

量等方面的要求。

三、高純空氣國標的應(yīng)用
高純空氣應(yīng)用廣泛，主要包括以下幾個方面：

1. 生命科學領(lǐng)域：高純氧是許多醫(yī)院和實驗室不可缺少的氣體，用于提供呼吸支持、手術(shù)麻醉、生

物產(chǎn)品培養(yǎng)等。

2. 電子、半導(dǎo)體領(lǐng)域：半導(dǎo)體制造過程中使用高純氮氣、氬氣等保護氣體，可有效減少雜質(zhì)對芯片

的影響，提高芯片質(zhì)量。

3. 工業(yè)生產(chǎn)領(lǐng)域：高純氧氣、氮氣等用于各種工業(yè)生產(chǎn)中的氣體保護、氣體氛圍控制、氣體溶解等

方面。

4. 環(huán)保領(lǐng)域：高純氧、氫等可用于環(huán)保處理中的氧化還原反應(yīng)、催化反應(yīng)等方面。

四、總結(jié)
高純空氣是許多高科技領(lǐng)域的重要原材料。國家有關(guān)部門制定了相應(yīng)的國家標準，規(guī)范了高純氣體

的生產(chǎn)和質(zhì)量控制。隨著高新技術(shù)產(chǎn)業(yè)的不斷發(fā)展，高純空氣的應(yīng)用領(lǐng)域?qū)⒃絹碓綇V泛，其國家標

準的實施將更加重要。