六氟化硫已經(jīng)成為絕緣油之后的新一代絕緣性好，耐高壓的絕緣介質(zhì)。

  高純六氟化硫氣體是我國(guó)科研、生產(chǎn)等許多部門急需的特種氣休,在半導(dǎo)體工業(yè)巾用于等離子蝕刻工藝,在光導(dǎo)纖維制造中用作隔離層摻雜劑。高純六氟化硫氣體還是重要的激光材料,在其它領(lǐng)域也有重要用途。

  在TFT-LCD面板廠及其他微電子行業(yè)，高純六氟化硫氣體常用作清潔氣體和蝕刻氣體，在光導(dǎo)纖維的生產(chǎn)過(guò)程中，也常用六氟化硫作為單膜光纖隔離層摻雜劑。

  在鎂合金、鎂鋁合金的冶煉過(guò)程中，常常用高純六氟化硫氣體或者六氟化硫和氮?dú)獾幕旌蠚怏w作為保護(hù)氣體，其目的是防止金屬鎂及其合金被空氣氧化。

  在醫(yī)療行業(yè)，六氟化硫還用于超聲造影，主要是肝臟腫瘤的造影檢查。在超聲造影過(guò)程中，六氟化硫主要作為一種安全的造影劑使用，經(jīng)靜脈注射六氟化硫后，氣體溶解于血液，每12分鐘六氟化硫氣體可以由呼吸方式排出一半。