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高純六氟化硫工業(yè)應用及未來發(fā)展

文章出處：責任編輯：人氣：-發(fā)表時間：2022-08-03 10:43:00【大 中 小】

 工業(yè)級高純六氟化硫主要用于斷路器、變壓器等電器設備。六氟化硫的使用可以增加設備運行的安全性、縮小設備體積、延長設備壽命。近幾年，國家大力發(fā)展基礎電力行業(yè)，給六氟化硫廠家?guī)砹撕艽蟮氖袌鰴C遇。主要用于半導體工業(yè)中作清洗氣體。另外高純六氟化硫(純度在99.99%以上)，國內(nèi)需求非常旺盛，而且附加值較高。

 
　　高純六氟化硫的成本只有NF3的幾分之一，近年來，各公司以廉價的SF6取代以往CVD工藝中作為清洗氣體的NF3的新技術正被廣泛研究。該技術在大幅降低液晶產(chǎn)品加工中占相當比例的CVD氣體成本的同時，還顯示出了環(huán)保前景，近年來用量有明顯的提高。我國成為僅次于美國的世界第二大集成電路市場，總需求量約為500億美元。