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高純硅烷和普通硅烷的品質(zhì)指標(biāo)對比

文章出處：責(zé)任編輯：人氣：-發(fā)表時間：2018-07-27 10:57:00【大 中 小】
 
高純硅烷的品質(zhì)無統(tǒng)一規(guī)定，各個生產(chǎn)單位生產(chǎn)的硅烷品質(zhì)通常有微小差別。下標(biāo)是5N、6N級高純硅烷和普通硅烷品質(zhì)指標(biāo)。
 
 
從表中可以看出，5N級硅烷除氫氣、氦氣外，雜質(zhì)氣體氧（氬）、一氧化碳+二氧化碳控制在0.4ppmv，其他雜質(zhì)氣體均在0.2ppmv。6N級硅烷均控制在0.1ppm。普通硅則高了一個數(shù)量級，氯化物甚至達到了15ppmv，高了兩個數(shù)量級。
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