當(dāng)前位置：首頁(yè) » 紐瑞德資訊 » 氣體指南 » 高純硅烷和普通硅烷的品質(zhì)指標(biāo)對(duì)比

高純硅烷和普通硅烷的品質(zhì)指標(biāo)對(duì)比

文章出處：責(zé)任編輯：人氣：-發(fā)表時(shí)間：2018-07-27 10:57:00【大中小】

高純硅烷的品質(zhì)無(wú)統(tǒng)一規(guī)定，各個(gè)生產(chǎn)單位生產(chǎn)的硅烷品質(zhì)通常有微小差別。下標(biāo)是5N、6N級(jí)高純硅烷和普通硅烷品質(zhì)指標(biāo)。

從表中可以看出，5N級(jí)硅烷除氫氣、氦氣外，雜質(zhì)氣體氧（氬）、一氧化碳+二氧化碳控制在0.4ppmv，其他雜質(zhì)氣體均在0.2ppmv。6N級(jí)硅烷均控制在0.1ppm。普通硅則高了一個(gè)數(shù)量級(jí)，氯化物甚至達(dá)到了15ppmv，高了兩個(gè)數(shù)量級(jí)。

下一篇：潛水時(shí)用氦氧混合氣體的優(yōu)點(diǎn)上一篇：標(biāo)準(zhǔn)氣體的不確定度評(píng)定

此文關(guān)鍵字：特種氣體知識(shí) 氣體知識(shí)